팹의 가열 과정에서 열이 낭비되는 것을 막아보세요. 솔직히 말해서, 전력을 낭비하는 것은 그저 돈을 버리는 행위에 불과합니다. 대부분의 팹에서는 일반적인 알루미늄 반사체가 사용되지만, 문제는 이 반사체들이 적외선 에너지를 흩뜨린다는 점입니다. 그로 인해 열이 웨이퍼에...

적외선을 활용해 MEMS 웨이퍼를 효과적으로 건조시키는 방법 스마트 팩토리를 구축할 때는 모든 과정이 데이터에 의해 제어되어야 한다는 것을 알고 계실 것입니다. 하지만 MEMS 센서 웨이퍼를 건조할 때는 소프트웨어만큼이나 하드웨어도 매우 중요합니다. 그래서 우리는 기...

서론 간단히 말해, 저희는 웨이퍼 건조 오븐용 적외선 가열 요소를 만들었습니다. 핵심은, 고가의 국제 브랜드 제품들과 달리, 효과적이고 깨끗한 열을 제공하는 것입니다. 이 제품은 그냥 바로 사용할 수 있는 교체용 부품입니다. 복잡한 설치 과정 없이도 신뢰할 수 있는...

생산 현장에서 시간은 단순한 편의가 아니라 존중해야 할 변수다. 소프트 베이크 시간이 몇 초만 벗어나도 포토레지스트 내 용매가 갇히면서 리소그래피 단계에서 결함이 발생할 수 있다. 건조 사이클을 일찍 종료하면 습기가 남게 되고, 습기는 산화를 의미한다. 웨이퍼 건조...

스핀 드라이어 뚜껑이 내려가면 웨이퍼가 마지막 헹굼수 방울이 완전히 제거되어야 하는 제어된 공간에 안착한다. 얼룩, 반점, 입자가 없어야 한다. 300 mm 라인에서는 건조 중 온도 허용 범위가 단일 밀리도 단위로 측정될 정도로 매우 좁다. 몇십 분의 1도 정도의 편...

전력과 물리적 현실: 이 히터가 작동하는 원리 산업용 의류 건조 작업은 결코 부드러운 작업이 아니다. 대량의 공기와 수분을 빠르게 이동시킬 수 있는 히터가 필요하다. 그래서 우리는 이 제품을 400V, 2500W로 설계한다. 이는 임의의 수치가 아니라, 건조기 드럼...