왜 웨이퍼 경화 과정에서 금 코팅이 중요한가요? 웨이퍼를 경화할 때 가장 중요한 것은, 엄청난 양의 전력을 낭비하지 않으면서도 기판에 적절한 양의 열을 공급하는 것입니다. 대부분의 경우, 적외선 에너지는 그냥 기계의 본체 안으로 사라져버립니다. 이는 큰 낭비입니다....

상황이 불안정해질 때 웨이퍼를 가열하는 방법 솔직히 말해서, 인화성 화학물질이 가득한 공간에 가열 요소를 설치하는 것은 매우 위험한 일입니다. 작은 불꽃 하나나 케이스의 특정 부분이 과열되기만 해도, 단순히 기계가 고장 나는 것을 넘어서 재앙이 발생할 수 있습니다....

적외선을 활용해 MEMS 웨이퍼를 효과적으로 건조시키는 방법 스마트 팩토리를 구축할 때는 모든 과정이 데이터에 의해 제어되어야 한다는 것을 알고 계실 것입니다. 하지만 MEMS 센서 웨이퍼를 건조할 때는 소프트웨어만큼이나 하드웨어도 매우 중요합니다. 그래서 우리는 기...

적외선 가열 vs. 열공기 가열: 과연 어떤 방식이 웨이퍼 처리에 적합할까? 만약 여전히 반도체 처리에 열공기 순환 방식을 사용하고 있다면, 사실상 기다리는 수밖에 없습니다. 열공기 가열의 원리를 생각해보면, 먼저 공기를 가열한 다음, 그 공기가 챔버를 가열합니다....

왜 모든 부품을 반드시 테스트해야 하는가? (그리고 왜 그게 중요한지) 웨이퍼 가공 장비용 가열 요소를 제작할 때는 “작은” 실수라는 것은 존재하지 않습니다. 아주 작은 전기 누설이라도 있으면, 그만큼의 실리콘 제품들이 폐기되는 것입니다. 이 업계에서는 몇 개의 제품...

생산 현장에서 시간은 단순한 편의가 아니라 존중해야 할 변수다. 소프트 베이크 시간이 몇 초만 벗어나도 포토레지스트 내 용매가 갇히면서 리소그래피 단계에서 결함이 발생할 수 있다. 건조 사이클을 일찍 종료하면 습기가 남게 되고, 습기는 산화를 의미한다. 웨이퍼 건조...

포장 라인에서 웨이퍼 레벨 CSP는 열 변동에 대한 여유가 없다. 포토레지스트 소프트 베이크 또는 캡슐화 경화 과정 중 0.5도 정도의 변동만으로도 핵심 치수가 이동하고 수율이 저하되며, 웨이퍼가 비용이 많이 드는 재작업을 위해 다시 투입될 수 있다. 우리는 이러한...

스핀 드라이어 뚜껑이 내려가면 웨이퍼가 마지막 헹굼수 방울이 완전히 제거되어야 하는 제어된 공간에 안착한다. 얼룩, 반점, 입자가 없어야 한다. 300 mm 라인에서는 건조 중 온도 허용 범위가 단일 밀리도 단위로 측정될 정도로 매우 좁다. 몇십 분의 1도 정도의 편...