상황이 불안정해질 때 웨이퍼를 가열하는 방법
솔직히 말해서, 인화성 화학물질이 가득한 공간에 가열 요소를 설치하는 것은 매우 위험한 일입니다. 작은 불꽃 하나나 케이스의 특정 부분이 과열되기만 해도, 단순히 기계가 고장 나는 것을 넘어서 재앙이 발생할 수 있습니다.
그래서 우리는 IR 램프를 특별한 방식으로 만듭니다.
유해한 물질을 차단하기
가장 큰 문제는 전기 접점입니다. 유해한 가스가 그곳에 들어가면 문제가 생깁니다.
우리는 일반적인 가스켓을 사용하지 않습니다. 대신, 고온에서도 견딜 수 있는 특수한 유리-금속 밀봉재를 사용합니다. 이를 통해 완전한 기밀성을 확보할 수 있습니다.
이렇게 하면 두 가지 이점이 있습니다. 첫째, 공격적인 용매들이 텅스텐 필라멘트를 손상시키는 것을 막습니다. 둘째, 외부의 증기가 전선이 연결된 부위에서 점화되는 것을 방지합니다. 이렇게 하면 마음의 평화를 얻을 수 있습니다.
열을 효과적으로 관리하기
안전성은 단순히 밀봉만으로는 확보될 수 없습니다. 열이 어떻게 전달되는지도 중요합니다.
우리는 단파 IR 방출기를 사용합니다. 이 방식을 사용하면 에너지가 빠르게 웨이퍼 표면에 도달합니다. 에너지가 빠르게 전달될수록 주변의 화학물질들이 열을 흡수하는 시간이 줄어듭니다. 또한, 온도를 빠르게 조절할 때 램프가 깨지지 않도록 석영의 두께를 늘렸습니다.
주의할 점은, 와트数를 높이면 석영관이 매우 뜨거워질 수 있다는 것입니다.
만약 케이스의 환기가 제대로 되지 않으면, 열이 케이스 안에 고여 있게 됩니다. 상황을 통제하기 위해 PID 컨트롤러를 사용하는 것이 좋습니다. 이를 통해 온도가 급격히 상승하는 것을 방지하고 모든 것을 안정적으로 유지할 수 있습니다.
편리하게 교체할 수 있도록 설계됨
이 제품들은 쉽게 교체할 수 있도록 설계되었습니다. 아무도 주말 내내 시스템을 다시 연결하는 데 시간을 낭비하고 싶어하지 않습니다.
전선은 방폭형 커넥터를 통해 연결되므로, 전기적인 문제가 발생해도 그 문제가 제한된 범위 내에 머물게 됩니다. 연결할 때는 커넥터가 정확한 토크로 조여져 있는지 반드시 확인해야 합니다. 아크가 발생하지 않도록 해야 합니다.
이미 표준 IR 배열을 사용하고 있다면, 이 제품들을 그대로 사용할 수 있습니다. 단, 안전 센서가 우리가 사용하는 특정 파장에 맞게 설정되어 있는지 확인해야 합니다. 그러면 문제없이 사용할 수 있습니다.