열원이 진공 상태를 망치는 것을 막으세요.
클래스 100급 청정실을 운영한다면, 그 절차를 잘 알고 있을 것입니다. 필터와 관련된 규칙들도 잘 지켜지고 있지만, 여전히 사람들을 괴롭히는 문제가 하나 있습니다. 바로 가열 요소입니다.
대부분의 적외선 램프는 기본적인 작업에는 문제가 없지만, 고온이 되면 미세한 입자나 가스가 방출됩니다. 진공 상태에서는 이런 것들이 치명적입니다. 공기가 없어서 그 오물들을 밖으로 내보낼 수 없기 때문입니다. 가열 요소에서 떨어져 나온 입자들은 그대로 기판 위에 남게 됩니다.
그래서 우리는 고순도의 합성 석영을 사용합니다.
비결은 실리카에 있습니다. 우리는 수산기(OH) 함량이 매우 낮은 석영을 사용합니다. 왜냐하면 이렇게 하면 램프가 뜨거워질 때도 부드러워지지 않으며, 불순물이 진공 상태로 들어가는 것을 막을 수 있기 때문입니다. 잔여물이 없으면 웨이퍼에 이상한 얼룩이 생기지 않습니다. 그저 깨끗한 상태를 유지할 수 있죠.
하지만 진공 상태에서 작업할 때는 대류를 통한 냉각이 불가능합니다. 공기를 이용해 열을 분산시킬 수 없기 때문입니다.
우리의 램프는 방사능을 통해 에너지를 직접 목표물에 전달하도록 설계되었습니다. 또한 전극 연결부의 밀폐성도 강화하여 아무것도 새어나가지 않도록 했습니다.
한 가지 팁: 와트수에 주의하세요. 만약 작은 공간에 너무 많은 와트수의 램프를 사용한다면, 챔버 벽에 적절한 열 배출 구조가 없다면 램프가 손상될 수 있습니다. 그렇게 되면 큰 문제가 생깁니다.
이 램프들을 시스템에 장착하는 것도 간단합니다. 여러 가지 커넥터 옵션을 제공하기 때문에 쉽게 연결할 수 있습니다.
커스텀 배열을 만들든, 단순히 고장난 램프를 교체하든, 모두 안정적으로 연결됩니다. 다만 전압의 안정성에는 주의해야 합니다. 전압의 급격한 변동은 필라멘트를 빠르게 손상시킬 수 있습니다. 정격 전압을 준수한다면 램프는 오랫동안 사용할 수 있습니다.