적외선을 활용해 MEMS 웨이퍼를 효과적으로 건조시키는 방법 스마트 팩토리를 구축할 때는 모든 과정이 데이터에 의해 제어되어야 한다는 것을 알고 계실 것입니다. 하지만 MEMS 센서 웨이퍼를 건조할 때는 소프트웨어만큼이나 하드웨어도 매우 중요합니다. 그래서 우리는 기...

공장 현장에서는 포토레지스트를 가열하는 과정이 단순한 ‘일시 정지’가 아닙니다. 이는 반드시 준수해야 하는 엄격한 규칙입니다. 만약 가열판의 위치가 틀어지면, CD의 정밀도도 함께 변합니다. 균일성이 떨어지면 웨이퍼 전체의 성능에 악영향을 미칩니다. MEMS의 경우,...