웨이퍼 건조 오븐 타이머

생산 현장에서 시간은 단순한 편의가 아니라 존중해야 할 변수다. 소프트 베이크 시간이 몇 초만 벗어나도 포토레지스트 내 용매가 갇히면서 리소그래피 단계에서 결함이 발생할 수 있다. 건조 사이클을 일찍 종료하면 습기가 남게 되고, 습기는 산화를 의미한다. 웨이퍼 건조...