유리 웨이퍼 가공용 적외선 램프

유리 웨이퍼의 경우, 실리콘과는 완전히 다른 특성을 가집니다. 유리 웨이퍼는 투명하며, 열량도 적고, 온도 변화에 매우 민감합니다. 만약 고온 부위가 조금이라도 이동하면, 포토레지스트의 성분이 변하게 되고, CD 제어도 어려워집니다. 그 결과, 제품의 품질이 저하됩니...