팹의 가열 과정에서 열이 낭비되는 것을 막아보세요.
솔직히 말해서, 전력을 낭비하는 것은 그저 돈을 버리는 행위에 불과합니다.
대부분의 팹에서는 일반적인 알루미늄 반사체가 사용되지만, 문제는 이 반사체들이 적외선 에너지를 흩뜨린다는 점입니다. 그로 인해 열이 웨이퍼에 도달하지 못하고 기계의 체스트 내부로 들어가버립니다. 이는 비효율적인 방식입니다. 그래서 우리는 금으로 코팅된 반사체를 사용하기 시작했습니다.
왜 금일까요?
그건 화려함 때문이 아닙니다. 금이 중간 주파수 대역의 적외선을 효과적으로 반사하기 때문입니다. 알루미늄은 일부 에너지를 통과시키지만, 금은 광자를 다시 목표물 쪽으로 반사시킵니다. 이렇게 하면 열이 넓게 퍼지는 것을 막고 집중된 빔으로 만들 수 있습니다. 그 결과, 전력 공급을 높이지 않고도 웨이퍼 표면에 더 많은 열을 가할 수 있습니다.
열을 정확한 위치에 전달하기
이러한 시스템을 설계할 때 우리는 열 밀도를 높이는 것을 목표로 합니다. 빔의 각도를 좁힘으로써 웨이퍼를 훨씬 빠르게 증발 온도까지 만들 수 있습니다. 이는 스페이스 히터로 방을 따뜻하게 하는 것과, 멋진 렌즈를 사용해 불을 붙이는 것의 차이와 같습니다. 단순히 더 많은 열을 추가하는 것이 아니라, 열을 정확한 위치로 전달하는 것입니다.
단점은 무엇일까요?
물론, 이 방법도 모든 문제를 해결할 수는 없습니다. 금은 부드러운 재료입니다. 양극 처리된 알루미늄보다 훨씬 부드럽죠. 만약 청소할 때 마모성이 강한 도구를 사용한다면, 반사면이 손상되어 반사율이 급격히 떨어질 것입니다. 그러므로 반드시 부드러운 천을 사용해 청소해야 합니다.
비용 측면에서의 이점
결국, 이 방법을 사용하면 두 가지 선택지가 생깁니다. 즉, 가열 요소의 출력을 줄이거나, 처리 시간을 단축할 수 있습니다. 어느 쪽이든 웨이퍼당 비용은 줄어듭니다.
만약 에너지 비용이 너무 많이 든다고 생각된다면, 반사체를 확인해보세요. 만약 반사체가 흐릿해 보인다면, 램프가 과도한 부하를 견디고 있다는 뜻입니다. 이는 램프가 곧 고장날 수 있다는 신호입니다.