TSV(실리콘을 통과하는 회로) 히터

팹에서는 웨이퍼를 건조하거나 포토레지스트를 가열할 때 발생하는 열 변동이 단순히 생산을 중단시키는 요인에 그치지 않습니다. 이러한 열 변동으로 인해 전기 테스트 시까지는 문제가 드러나지 않지만, 그때가 되어서야 재작업이 필요해집니다. TSV 히터는 바로 이러한 열 변...