OEM 반도체 가열 소자

리소그래피 공정에서는 포토레지스트를 가열하는 과정에서 0.3°C만큼의 온도 변동이 생겨도 웨이퍼가 폐기되는 경우가 많습니다. 웨이퍼는 온도가 일정하지 않으면 전혀 작동하지 않습니다. 따라서 온도를 정확하게 유지할 수 있는 난방 요소가 필요합니다. 중요한 것은 바로 온...