웨이퍼 가열을 위한 안전 거리

적외선 가열 vs. 열공기 가열: 과연 어떤 방식이 웨이퍼 처리에 적합할까? 만약 여전히 반도체 처리에 열공기 순환 방식을 사용하고 있다면, 사실상 기다리는 수밖에 없습니다. 열공기 가열의 원리를 생각해보면, 먼저 공기를 가열한 다음, 그 공기가 챔버를 가열합니다....