در فرآیند تولید، انحرافات حرارتی در طول فرآیند پختن رزیست فوتوگرافی، میتواند باعث کاهش کیفیت محصول شود. اگر فرآیند پختن نامنظم باشد، عرض خطوط روی ویفر نیز دچار تغییر خواهد شد. اگر فرآیند پختن منظم نباشد، ذرات و باقیماندههایی روی سطح ویفر ایجاد میشود. ما یک پنل گرمایشی مبتنی بر اشعه مادون قرمز ساختیم تا این نوسانات را از بین ببرد و گرمایی یکنواخت ایجاد کند؛ بدون هیچ انحرافی.
چه چیزهایی اهمیت دارند؟
این پنل از طریق تابش حرارتی گرم میشود، نه از طریق همرفت هوا؛ برای این منظور از عناصر مادون قرمز کوتاهامواج استفاده شده است. زمان لازم برای رسیدن به دمای مورد نظر کمتر از ۲ ثانیه است؛ همچنین یکنواختی دما در سطح ویفر در حد ±۰٫۱ درجه سانتیگراد است. قابلیت تکرار این فرآیند نیز در حد ±۰٫۵ درجه سانتیگراد است؛ بنابراین کنترل حرارتی به خوبی انجام میشود. سطح این پنل به گونهای طراحی شده که هیچ ذرهای روی سطح ویفر باقی نماند؛ این ویژگی باعث ایجاد محیط تمیز در سطح کلاس ۱ تا ۱۰۰ میشود. همچنین، این مواد در برابر مواد شوینده قوی نیز مقاوم هستند. از نظر الکتریکی نیز، این پنل مطابق استانداردهای تجهیزات نیمههادی است؛ یعنی دارای سطح EMI پایین و عایقبندی مناسب است.
چرا این موضوع در فرآیند لیتوگرافی اهمیت دارد؟
در فرآیندهای لیتوگرافی و پردازش رزیست، این دقت باعث کنترل بهتر ابعاد حیاتی و کاهش نیاز به بازسازی محصول میشود. فرآیند پختن نامنظم باعث ایجاد مشکلاتی در چسبندگی مواد میشود؛ اما این پنل باعث استабیل شدن چسبندگی مواد میشود و از ایجاد ذرات و باقیماندهها جلوگیری میکند. پاسخ سریع این پنل باعث کاهش زمان استراحت بین فرآیندهای پختن میشود؛ بنابراین بازدهی فرآیند افزایش مییابد، بدون افزایش مصرف انرژی. این پنل میتواند ۲۴/۷ کار کند و نیاز به تعمیرات کمی دارد؛ بنابراین زمان توقف غیرمنتظره صفر خواهد بود. به عنوان جایگزینی برای گرمکنهای وارداتی، این پنل میتواند در جایگاههای موجود قرار گیرد و از بقای کیفیت فرآیند حفاظت کند؛ در عین حال هزینه قطعات یدکی را کاهش میدهد.
نکات مربوط به نصب:
برای نصب این پنل، باید اندازه و نوع کانکتور تجهیزات مربوطه مورد توجه قرار گیرد. باید میزان تغییرات مربوط به تنظیمات دما نیز بررسی شود؛ زیرا این موضوع باعث یکنواختی دما میشود. این پنل در حالتی عملکرد بهتری دارد که ولتاژ خط ثابت باشد؛ تغییرات شدید ولتاژ میتواند دقت تنظیمات دما را کاهش دهد؛ بنابراین استفاده از تقویتکننده ولتاژ یک انتخاب هوشمندانه است. همچنین، برای اطمینان از عملکرد صحیح پنل، باید یک آزمایش کوتاه انجام شود تا دمای سطح ویفر مشخص شود.