در کارخانههای تولید، فرآیند حرارتدهی به فیلمهای نوری، یک توقف موقت نیست؛ بلکه یک الزام ضروری است. اگر دمای سطح گرم شود، کنترل کیفیت نیز تحت تأثیر قرار میگیرد. اگر یکنواختی در دما وجود نداشته باشد، کیفیت محصول نیز کاهش خواهد یافت. در فناوری MEMS، محدودیتهای حرارتی بسیار زیاد هستند؛ خطای دمایی نیز برای مدت طولانی باقی نمیماند.
آنچه از نظر فنی اهمیت دارد:
ما این گرمکن مادونقرمز را برای کنترل دقیق دمایی در فناوری MEMS طراحی کردهایم؛ از امواج مادونقرمز برای پاسخ سریع استفاده شده، و از عناصر کوارتز-هالوژن برای تولید خروجی پایدار استفاده شده است. طراحی این گرمکن به گونهای است که یکنواختی دما در سطح ویفر را در محدوده ±۰.۱ درجه سانتیگراد حفظ کند. منطقه گرم شدن، در اتاقهای پاکسازی کلاس ۱–۱۰۰ قرار دارد؛ مواد و سطوح مورد استفاده نیز به گونهای انتخاب شدهاند که تولید ذرات و خروج گازها به حداقل برسد. مهمترین چیز، تکرارپذیری فرآیند است؛ یعنی هر بار که فرآیند حرارتدهی انجام شود، نتایج یکسان خواهد بود.
چرا این گرمکن برای فرآیندهای MEMS مناسب است:
در فناوری MEMS، فرآیندهای حرارتدهی با فاصلههای بسیار کم انجام میشود. این گرمکن، پروفایل دمایی یکسانی را در هر بار اجرای فرآیند ارائه میدهد؛ بنابراین ویژگیهای مختلف محصول نیز به طور یکنواخت توسعه مییابند. سرعت بالای این گرمکن، زمان لازم برای حرارتدهی را کاهش میدهد؛ بدون اینکه یکنواختی دما در سطح ویفر مختل شود.
مصرف انرژی نیز کاهش مییابد؛ زیرا تنها منطقه مورد نظر گرم میشود، نه کل سطح ویفر. قابلیت اطمینان این گرمکن نیز در زمان کاربرد مداوم آن مشهود است؛ در تولید مداوم، هیچ توقف غیرمنتظرهای وجود ندارد، و تعمیرات نیز قابل پیشبینی هستند.
چه چیزهایی را باید در نظر بگیرید:
نصب این گرمکن نیازمند تطبیق با رابطات لازم برای استفاده از آن، و همچنین تأیید ولتاژ و سیستم خنککنندگی است؛ معمولاً ولتاژ مورد نیاز ۲۴۰ ولت است، و سیستم خنککنندگی نیز از نوع هوا یا آبی است. این گرمکن با سیستمهای لیتوگرافی استاندارد سازگار است؛ اما باید مسیر نوری آن باز باقی بماند؛ هرگونه مانعی میتواند الگوی حرارتی را تغییر دهد.
همچنین، باید زودتر فضای لازم برای نصب این گرمکن را در نظر بگیرید؛ فضای کافی برای نصب و دسترسی به قطعات، بسیار مهم است. اگر این موارد را درست انجام دهید، فرآیند تولید به خوبی انجام خواهد شد؛ در این صورت، فقط به دستورالعملهای مربوطه نیاز خواهید داشت.