در فرآیند تولید ویفرهای شیشهای، این ویفرها با سیلیکون تفاوتهای قابل توجهی دارند. آنها شفاف هستند، جرم حرارتی کمتری دارند، و نسبت به هرگونه تغییر دما بسیار حساسترند. اگر منطقه گرم، حتی کمی تغییر جهت دهد، پروفایل فوتورزیست نیز تغییر میکند؛ در نتیجه کنترل کیفیت محصول دچار مشکل میشود. در چنین شرایطی، لامپهای مادونقرمز که برای پردازش شیشه طراحی شدهاند، میتوانند گرما را دقیقاً در جایی که لازم است، تأمین کنند.
نکات مهم در این زمینه:
ما این سیستم را با استفاده از فرستندههای مادونقرمز کوتاهاموج، که برای جذب گرما توسط شیشه تنظیم شدهاند، ساختهایم؛ این کار باعث میشود گرمایش به سرعت اتفاق بیفتد و پاسخ سیستم در کمتر از یک ثانیه صورت گیرد. در سراسر سطح حرارتی، یکنواختی دما در حد ±۰.۱ درجه سانتیگراد باقی میماند؛ این امر باعث استабیلی پروفایلهای حرارتی و جریان فوتورزیست میشود. این دستگاه در اتاقهای پاکیزه کلاس ۱ تا ۱۰۰ کار میکند؛ همچنین، تولید هیچ ذرهای در این دستگاه رخ نمیدهد. خروجی دستگاه در طول بیش از ۵۰۰۰ ساعت کار، کمتر از ۵٪ کاهش مییابد؛ همچنین، پروفایل حرارتی در هر بار تولید تکرار میشود.
در فرآیند لیتوگرافی، دما باید ثابت باشد، نه چیزی که بتوان حدس زد. لامپهای مادونقرمز ما، با گرم کردن فقط ویفر و منطقه اطراف آن، از هدررفت انرژی جلوگیری میکنند؛ در نتیجه، زمان پردازش کاهش مییابد. همچنین، یکنواختی دما بهتر میشود و مشکلات ناشی از پخت بیش از حد یا کمتر از حد کاهش مییابد. سرعت بالای گرم شدن لامپ، زمان پردازش را کاهش میدهد؛ همچنین، گرمای تمیز و خشک، از ظهور نقصهای سطحی در مراحل بعدی کمک میکند.
نکات عملی:
برای نصب این دستگاه، نیاز به تنظیم دقیق نوری وجود دارد؛ همچنین، برای جلوگیری از اختلالات الکترومغناطیسی، باید از منبع تغذیه مناسب استفاده کرد. اگر قصد ادغام این دستگاه در سیستمهای قدیمی را دارید، باید از براکتهای مخصوص و زمان کوتاهی برای تنظیمات استفاده کنید. پس از گرم شدن لامپ، باید اجازه داد تا دمای آن به مقدار ±۰.۱ درجه سانتیگراد برسد؛ پس از استابیل شدن دما، فرآیند پردازش ادامه خواهد یافت. همچنین، باید طیف نوری لامپ را متناسب با خواص شیمیایی فوتورزیست و سطح شیشه انتخاب کرد؛ این کار برای تمام موارد یکسان نیست، و اگر این کار انجام نشود، ممکن است مشکلاتی پیش بیاید.