در کارخانههای تولید، اختلاف دمایی ۰.۵ درجه سانتیگراد در حین فرآیند گرم کردن فوتورزیست، میتواند باعث تغییر ابعاد کلیدی قطعات شود؛ این تغییرات میتواند در مقیاس نانومتری باشد. اگر یک محموله از قطعات دارای نقص باشد، باید کل محموله را از بین برد. ما خطوط تولید گرمکنهای صنعتی خود را بر اساس همین واقعیت طراحی کردهایم؛ یعنی کنترل دمایی که باعث حفظ یکنواختی دمایی در سطح ویفرها در محدوده ±۰.۱ درجه سانتیگراد، روز به روز، در فرآیندهای گرم کردن مختلف، میشود.
چه چیزی از نظر فنی اهمیت دارد؟
مهمترین نکته، استفاده از گرمکنهایی است که با شرایط اتاقهای پاک سازگار باشند و برای کنترل دمایی در صنعت نیمههادی مناسب باشند. گرمکنهای هالوژنی و NIR، گرما را مستقیماً به فوتورزیست و سطح قطعات منتقل میکنند؛ بنابراین زمان لازم برای گرم شدن قطعات کوتاه میشود، بدون اینکه باعث کاهش قابلیت تکرارپذیری عملیات شود. دما در سراسر ویفر یکنواخت باقی میماند، بنابراین کنترل عرض خطوط تولید نیز در محدوده استانداردها باقی میماند.
چگونه از تولید قطعات دارای نقص جلوگیری میشود؟
از طریق استفاده از موادی که گاز کمی تولید میکنند و ساختار بستهای دارند، میتوان از تولید ذرات درون قطعات جلوگیری کرد؛ این گرمکنها برای محیطهای کلاس ۱ تا ۱۰۰ مناسب هستند. این دستگاهها ۲۴/۷ کار میکنند و هیچ توقف غیرمنتظرهای ندارند؛ همچنین فواصل تعمیرات نیز طولانیتر است، که به معنای نیاز کمتر به قطعات یدکی و نیروی کمتر برای تعمیرات است.
چرا این روش در فرآیند لیتوگرافی مؤثر است؟
در فرآیند لیتوگرافی، یکنواختی دما منجر به کاهش تعداد قطعات دارای نقص و افزایش بازدهی تولید میشود. مصرف انرژی نیز کاهش مییابد، زیرا گرمکن به سرعت به دمای مورد نظر میرسد و آن را حفظ میکند؛ این امر باعث کاهش هزینههای حرارتی برای هر ویفر میشود.
نکاتی که باید در نظر گرفت:
تطبیق گرمکن با ساختار اتاق و جریان هوا الزامی است؛ حتی کوچکترین عدم تطابق میتواند باعث مشکلاتی شود. باید یک آزمایش کوتاه برای تنظیم پارامترهای PID و سیستم محافظتی انجام داد. همچنین باید ولتاژ خروجی و نوع کانکتورها نیز متناسب با ابعاد تجهیزات تعیین شوند؛ در غیر این صورت، نیاز به تعمیرات اضافی خواهد بود.