বাতাসকে উত্তপ্ত করা বন্ধ করুন, বরং নির্দিষ্ট অংশটিকেই উত্তপ্ত করুন।
যদি আপনি এখনও সেমিকন্ডাক্টর উৎপাদন প্রক্রিয়ায় বায়ুর সাহায্যে উত্তপ্ত করার পদ্ধতি ব্যবহার করছেন, তাহলে আপনি নিশ্চয়ই একই সমস্যার মুখোমুখি হয়েছেন। বায়ু তো তাপ স্থানান্তরে খুবই অকার্যকর।
ফলে আপনাকে অপেক্ষা করতে হয়; যতক্ষণ না বায়ু নির্দিষ্ট অংশটিকে উত্তপ্ত করে। এই অবস্থায় আপনি অপরিহার্যভাবে প্রচুর শক্তি ব্যয় করছেন। এটা অপচয়।
এর চেয়ে ভালো উপায় হলো অজোন-মুক্ত ইনফ্রারেড ব্যবহার করা।
বায়ুর পরিবর্তে ইনফ্রারেড ল্যাম্পগুলো তড়িৎচুম্বকীয় বিকিরণ ব্যবহার করে। এটা সরাসরি নির্দিষ্ট অংশটিকে উত্তপ্ত করে। অপেক্ষা করার দরকার নেই। ফলে উত্তপ্ত হওয়ার প্রক্রিয়াটি অনেক দ্রুত হয়। এটা হলো তাপ স্থানান্তরের পরিবর্তে বিকিরণের ব্যবহার; এর ফলে অনেক সময় সাশ্রয় হয়।
কিন্তু সাধারণ ইনফ্রারেড ব্যবহার করার ক্ষেত্রে একটি সমস্যা রয়েছে। সাধারণত, শর্টওয়েভ ইনফ্রারেড অক্সিজেন অণুগুলোর সাথে বিক্রিয়া করে অজোন তৈরি করে। ক্লিনরুমে অজোন খুবই বিপজ্জনক; এটা যন্ত্রপাতিগুলোকে ক্ষতিগ্রস্ত করে এবং সংবেদনশীল যন্ত্রাংশগুলোকেও নষ্ট করে।
এই সমস্যা সমাধান করতে আমরা ফিল্টারযুক্ত ইমিটার ও নির্দিষ্ট ধরনের কোয়ার্টজ ব্যবহার করি। এর ফলে আপনি প্রয়োজনীয় তাপ পান, আর প্রক্রিয়াটিও পরিষ্কার থাকে। এছাড়া, বাতাস পরিষ্কার করার জন্য বড় ও শব্দযুক্ত এক্সহস্ট সিস্টেম স্থাপনের দরকার নেই।
কিন্তু এটা কোনো “প্লাগ অ্যান্ড প্লে” ধরনের সমাধান নয়। আপনাকে রিফ্লেক্টরগুলো সঠিকভাবে স্থাপন করতে হবে। যদি এগুলো সঠিকভাবে না থাকে, তাহলে কিছু নির্দিষ্ট অংশগুলো অতিরিক্ত উত্তপ্ত হয়ে যাবে। আর এই অবস্থায় ওয়েফারগুলো ক্ষতিগ্রস্ত হয়ে যায়।
আর, ইনফ্রারেড ল্যাম্পগুলো থেকে অনেক তীব্র তাপ নির্গত হয়। ব্যবহার করার আগে আপনার চেসিসটি ভালোভাবে পরীক্ষা করুন। সম্ভবত ল্যাম্প হাউজিংয়ে কিছু কুলিং ফ্যান যোগ করার দরকার হবে; যাতে আপনার ওয়্যারিংগুলো ক্ষতিগ্রস্ত না হয়।
সব মিলিয়ে, যদি আপনি আপনার উৎপাদন প্রক্রিয়াকে আরও দ্রুত করতে চান, তাহলে এটাই সঠিক উপায়। বাতাসের সাথে লড়াই করা বন্ধ করুন, বরং নির্দিষ্ট অংশটিকেই উত্তপ্ত করুন।