লাইনে, গ্লাস ওয়েফারগুলো সিলিকনের তুলনায় সম্পূর্ণ ভিন্ন। এগুলো স্বচ্ছ; এদের তাপীয় ধারণক্ষমতা কম। আর তাপমাত্রার পরিবর্তনের প্রতি এগুলো অত্যন্ত সংবেদনশীল। যদি উচ্চ তাপমাত্রার অঞ্চলটি সামান্যই সরে যায়, তাহলে ফটোরেজিস্টের গঠন বিঘ্নিত হয়ে যায়; ফলে উৎপাদন কমে যায়। এখানেই গ্লাস প্রক্রিয়াকরণের জন্য তৈরি ইনফ্রারেড ল্যাম্পগুলো কাজে আসে—এগুলো ঠিক সেই জায়গায় তাপ সরবরাহ করে, অন্য কোথাও নয়।
কী গুরুত্বপূর্ণ?
আমরা এই সিস্টেমটি শর্ট-ওয়েভ NIR ইমিটারগুলোর সাহায্যে তৈরি করেছি; এগুলো গ্লাস দ্বারা শোষিত হয়। ফলে দ্রুত ও সঠিকভাবে তাপ সরবরাহ হয়। ওয়েফারের উপরিভাগে তাপমাত্রার ভিন্নতা মাত্র ±0.1°C থাকে; এতে ফটোরেজিস্টের গঠন স্থিতিশীল থাকে। এই যন্ত্রটি Class 1–100 ক্লিনরুমে ব্যবহৃত হয়; এখানে কোনো ধরনের কণা উৎপন্ন হয় না। এর ফলে উৎপাদন ক্রমাগত স্থিতিশীল থাকে। 5,000+ ঘন্টা ধরে এর কার্যকারিতা স্থিতিশীল থাকে; তাপমাত্রার পরিবর্তন মাত্র 5% এর মধ্যে থাকে।
লিথোগ্রাফিতে তাপমাত্রা অবশ্যই স্থিতিশীল হতে হয়। আমাদের ইনফ্রারেড ল্যাম্পগুলো শুধুমাত্র ওয়েফার ও তার আশেপাশের অঞ্চলগুলোকে উত্তপ্ত করে; ফলে শক্তি সাশ্রয় হয় এবং প্রক্রিয়াটি আরও দ্রুত হয়। এর ফলে CD-এর সমানতা বেড়ে যায়; পুনরাবৃত্তির প্রয়োজন কমে যায়। দ্রুত তাপ সরবরাহের ফলে প্রক্রিয়ার সময় কমে যায়। পরিষ্কার ও শুষ্ক তাপের ফলে পৃষ্ঠের ত্রুটিগুলো পরবর্তী ধাপে দেখা দেয় না।
কিছু ব্যবহারিক নির্দেশ:
ইনস্টলেশনের জন্য নির্ভুল অপটিক্যাল অ্যালাইনমেন্ট এবং বিশেষ ধরনের পাওয়ার সরবরাহ প্রয়োজন। যদি এটিকে পুরানো সিস্টেমে ইন্টিগ্রেট করা হয়, তাহলে কাস্টম মাউন্টিং ব্র্যাকেট ও সংক্ষিপ্ত রিকনফিগারেশন সময় প্রয়োজন। ল্যাম্পটি উষ্ণ হওয়ার পর, এটিকে সামান্য সময় ধরে উষ্ণ অবস্থায় রাখতে হয়; এরপর প্রক্রিয়াটি স্থিতিশীল হয়। ইমিটারের স্পেকট্রামটি আপনার ফটোরেজিস্ট ও গ্লাস সাবস্ট্রেটের সাথে মেলানো উচিত—কারণ এটা সর্বজনীন সমাধান নয়। না মেলালে ত্রুটি হওয়া সহজ।