别让加热元件破坏你的真空环境
如果你在运营100级洁净室，那你应该已经了解相关要求了。你会有相应的过滤器以及严格的操作规范，但还有一个容易被人忽视的问题：那就是加热元件。
大多数红外灯对于一般用途来说已经足够了，但当温度升高时，它们会释放出微粒或气体。在真空环境中，这无疑是个大问题——因为没有空气来带走这些杂质。从加热元件上脱落的颗粒会直接落在基材上。
这就是为什么我们使用高纯度的合成石英的原因。关键在于其中的二氧化硅成分。我们使用的二氧化硅中羟基含量极低。为何如此？因为这样可以防止管子因高温而变软，同时也能避免杂质渗入真空环境。没有残留物，自然也就不会在晶圆上出现异常痕迹，保持表面清洁。
不过，在真空环境中工作时还有一个问题：无法依靠对流来散热。你不能依赖空气来散发热量。我们的灯具采用辐射方式将能量直接传递到目标物体上。此外，我们还加强了电极连接处的密封性，确保不会有任何物质泄漏出来。
一个小贴士：要注意功率控制。如果把过多的功率施加在狭小的空间里，而腔室壁又没有有效的散热结构，那么真空密封件就会受到损坏。一旦密封件失效，那就麻烦了。
至于如何将这些部件安装到系统中，我们设计了简单的接口，方便安装。无论你是从头开始组装整个系统，还是仅仅更换损坏的灯管，都可以轻松完成安装。只要注意电压的稳定性即可。过高的电压会更快损坏灯丝。只要按照额定电压使用，这些灯具就能长期正常工作。