Tại sao lớp phủ vàng lại quan trọng trong quá trình xử lý wafer
Khi xử lý wafer, điều duy nhất cần quan tâm chính là việc cung cấp đúng lượng nhiệt cần thiết cho bề mặt wafer, mà không lãng phí quá nhiều năng lượng. Thông thường, một lượng lớn năng lượng hồng ngoại bị thất thoát vào thân máy. Đó là sự lãng phí lớn.
Đây chính là lúc các bộ phản xạ được phủ bằng vàng phát huy tác dụng.
Sức mạnh của vàng (và tại sao nhôm lại kém hiệu quả)
Hầu hết mọi người đều sử dụng các bộ phản xạ bằng nhôm, nhưng có một vấn đề: ở các bước sóng dài hơn, nhôm không thể phản xạ được ánh sáng một cách hiệu quả. Trong khi đó, vàng lại có khả năng phản xạ trở lại khoảng 98% năng lượng hồng ngoại.
Bằng cách phủ một lớp vàng mỏng lên vỏ đèn, chúng ta có thể buộc các photon phải quay trở lại phía wafer. Điều này giúp mỗi watt năng lượng được sử dụng một cách hiệu quả hơn. Kết quả là nhiệt độ cần đạt được sẽ được tạo ra nhanh hơn. Điều này giúp tiết kiệm thời gian rất nhiều.
Yếu tố quan trọng: Hình dạng của bộ phản xạ
Hình dạng của bộ phản xạ chính là yếu tố quyết định nơi mà nhiệt được tỏa ra. Nếu sử dụng bộ phản xạ có hình dạng parabol, năng lượng sẽ được tập trung vào một vùng hẹp. Nếu muốn năng lượng được lan tỏa ra, hãy chọn bộ phản xạ có hình dạng elip. Nhưng có một điểm cần lưu ý: nếu bộ phản xạ lệch vài độ thôi, bạn sẽ gặp phải các điểm nóng. Những điểm nóng này có thể làm biến dạng wafer hoặc khiến quá trình xử lý diễn ra không đều. Đó là lý do tại sao chúng ta phải đảm bảo rằng bộ phản xạ phải khớp chính xác với tâm của đèn.
Nhược điểm: Vàng khá dễ bị hư hại
Dù vàng mang lại hiệu quả phản xạ nhiệt tốt nhất, nhưng nó không phải là vật liệu bất khả phá hủy. Vàng khá mềm; một vết xước nhỏ hoặc chất bẩn trên bề mặt cũng có thể làm giảm hiệu quả phản xạ ánh sáng. Bạn không thể dùng miếng chà để làm sạch chúng; điều đó sẽ làm hỏng chúng. Tương tự, nếu các chi tiết kín của vỏ đèn bị hư hỏng, lớp phủ vàng sẽ bị bong tróc hoặc oxy hóa, khiến năng lượng bị suy giảm đáng kể.
Vì vậy, mặc dù chi phí ban đầu cao hơn, nhưng đối với các dây chuyền sản xuất với sản lượng lớn, việc đầu tư vào lớp phủ vàng vẫn mang lại lợi ích lớn. Khi tính đến việc tiết kiệm năng lượng và thời gian xử lý, chi phí đầu tư này sẽ được bù đắp trong vài tháng.