Hãy ngừng việc sử dụng không khí nóng để sấy khô các bộ phận trong quy trình sản xuất bán dẫn đi. Có lẽ bạn đã nhận thấy rằng phương pháp này gây ra nhiều bất tiện. Không khí thì hoàn toàn không có khả năng truyền nhiệt hiệu quả.
Bạn sẽ phải chờ đợi cho đến khi không khí trong lò nóng lên. Trong khi đó, bạn lại phải tiêu tốn rất nhiều năng lượng chỉ để làm nóng toàn bộ không gian bên trong lò. Đó là sự lãng phí lớn.
Có một cách tốt hơn: sử dụng tia hồng ngoại không chứa ozon. Thay vì dùng không khí, các đèn hồng ngoại sử dụng bức xạ điện từ để truyền nhiệt trực tiếp vào bề mặt vật liệu cần xử lý. Bạn không cần chờ đợi quá trình truyền nhiệt diễn ra, và việc xử lý cũng diễn ra nhanh hơn nhiều. Đây là cách chuyển từ phương pháp truyền nhiệt bằng không khí sang phương pháp truyền nhiệt bằng bức xạ, giúp tiết kiệm rất nhiều thời gian.
Tuy nhiên, phương pháp hồng ngoại thông thường cũng có nhược điểm. Thông thường, tia hồng ngoại sóng ngắn có thể tạo ra ozon do cách mà chúng tác động lên các phân tử oxy. Trong môi trường sạch, ozon là một mối nguy hiểm lớn; nó có thể phá hủy các thiết bị và làm hỏng các linh kiện nhạy cảm.
Để khắc phục điều này, chúng ta sử dụng các bộ phát ánh sáng đã được lọc, cùng với các loại thạch anh đặc biệt để ngăn chặn bức xạ UV. Bạn vẫn có thể nhận được nhiệt độ cần thiết, nhưng quy trình xử lý vẫn diễn ra trong môi trường sạch. Ngoài ra, bạn cũng không cần phải lắp đặt các hệ thống thông gió công suất lớn để làm sạch không khí.
Nhưng thực tế, đây không phải là giải pháp “auto”. Bạn cần phải thiết lập các bộ phản xạ ánh sáng một cách chính xác. Nếu chúng không được thiết lập đúng, bạn sẽ gặp phải tình trạng nhiệt độ cao ở một số vùng nhất định. Trong ngành sản xuất bán dẫn, tình trạng này có thể dẫn đến việc các wafer bị biến dạng hoặc toàn bộ lô sản phẩm bị hỏng.
Ngoài ra, tia hồng ngoại cũng tạo ra lượng nhiệt lớn tại một vùng nhất định. Trước khi chuyển sang phương pháp này, bạn cần kiểm tra kỹ thiết bị của mình. Có lẽ bạn cần lắp thêm các quạt làm mát vào vỏ đèn để tránh tình trạng dây điện bị nóng chảy.
Cuối cùng, nếu bạn muốn tăng năng suất sản xuất, thì đây chính là giải pháp tốt nhất. Hãy ngừng việc sử dụng không khí để sấy khô các bộ phận, và thay vào đó hãy sử dụng phương pháp truyền nhiệt bằng hồng ngoại.