Hãy ngừng việc sử dụng các thiết bị sưởi ấm tường đi: Đó là cách tốt hơn để xử lý các thiết bị dùng trong ngành bán dẫn.
Bạn đã từng gặp phải tình trạng “tường nóng” trong các thiết bị của mình chưa? Đó thực sự là một cơn ác mộng. Khi bạn bật các thiết bị sưởi ấm thông thường, hơi nóng sẽ lan tỏa khắp mọi nơi. Chẳng mấy chốc, những buồng chân không và các thiết bị xử lý đắt tiền kia lại trở thành những “bể giữ nhiệt” khổng lồ. Điều này không chỉ lãng phí năng lượng mà còn gây ra nguy cơ tai nạn cho những người đứng gần máy móc.
Chúng tôi đã tìm ra cách giải quyết vấn đề này. Bí quyết nằm ở việc sử dụng các bóng đèn có độ tinh khiết cực cao, giúp chuyển hướng hơi nóng đến đúng vị trí cần thiết.
Cách thức hoạt động của chúng: Hầu hết các bóng đèn thạch anh chỉ phát ra năng lượng theo hình tròn 360 độ. Điều này rất lãng phí năng lượng. Còn các bóng đèn UHP của chúng tôi thì sử dụng các bộ phản xạ đặc biệt và sợi dây tóc được tập trung để chuyển hướng năng lượng hồng ngoại trực tiếp vào wafer hoặc bề mặt cần xử lý. Nhờ vậy, năng lượng chỉ tác động vào điểm cần thiết, mà không làm nóng các bức tường của buồng chân không.
Về vật liệu: Chúng tôi sử dụng thạch anh tổng hợp chất lượng cao, vì việc có các tạp chất trong thạch anh sẽ gây hư hại cho wafer. Các bóng đèn này cũng được chế tạo rất chắc chắn, có thể chịu được áp lực nhiệt cao mà không bị nứt.
Tuy nhiên, cần lưu ý về mật độ năng lượng. Các bóng đèn này tạo ra lượng nhiệt rất lớn, điều này sẽ gây áp lực lớn lên các điểm tiếp xúc điện. Nếu dây điện không được thiết kế để chịu được dòng điện cao như vậy, chúng sẽ bị cháy.
Những ưu và nhược điểm: Ưu điểm lớn nhất chính là tính an toàn. Khi bề mặt bên ngoài của các thiết bị vẫn mát, các kỹ thuật viên có thể vào bên trong để bảo trì hoặc điều chỉnh mà không lo bị bỏng do nhiệt độ cao.
Tuy nhiên, cần lưu ý rằng các chùm tia năng lượng rất mạnh. Nếu bề mặt cần xử lý không được đặt chính xác, có thể tạo ra những điểm nóng gây biến dạng bề mặt wafer. Vì vậy, cần đảm bảo rằng các bộ phận được đặt chính xác để thiết bị hoạt động hiệu quả.