Điều nhiệt các tấm wafer trong điều kiện nguy hiểm
Hãy thừa nhận rằng việc đặt bộ phận gia nhiệt vào một không gian chứa đầy hơi hóa chất dễ cháy là điều vô cùng nguy hiểm. Chỉ cần một tia lửa nhỏ hay một điểm quá nóng trên bo mạch thôi, thì bạn sẽ phải đối mặt với thảm họa, chứ không chỉ là một chiếc máy bị hỏng thôi đâu.
Đó là lý do tại sao chúng tôi thiết kế các bóng đèn IR theo cách khác.
Ngăn chặn các chất độc hại xâm nhập
Mối lo lớn nhất chính là các tiếp xúc điện. Nếu các khí dễ cháy xâm nhập vào đó, bạn sẽ gặp rắc rối lớn. Chúng tôi không sử dụng các phụ kiện thông thường; thay vào đó, chúng tôi sử dụng công nghệ đóng gói chuyên dụng, kết hợp với các miếng kín bằng gốm và kim loại có khả năng chịu nhiệt cao. Điều này tạo ra một rào cản hoàn toàn kín khí.
Việc này mang lại hai lợi ích: Thứ nhất, nó ngăn các chất lỏng ăn mòn sợi tungsten. Thứ hai, và quan trọng hơn, nó ngăn các hơi hóa chất bên ngoài gây cháy nổ tại vị trí các dây điện được kết nối. Nhờ vậy, bạn có thể yên tâm hơn.
Kiểm soát nhiệt độ một cách an toàn
An toàn không chỉ liên quan đến việc ngăn chặn các chất độc hại xâm nhập, mà còn liên quan đến cách mà nhiệt độ được kiểm soát. Chúng tôi sử dụng các bóng đèn IR sóng ngắn vì chúng có thể tác động nhanh lên bề mặt tấm wafer. Càng nhanh năng lượng xâm nhập vào bề mặt tấm wafer, thì thời gian mà các chất hóa học xung quanh hấp thụ nhiệt càng ít. Chúng tôi cũng tăng độ dày của lớp thủy tinh để tránh việc bóng đèn bị nứt khi nhiệt độ thay đổi nhanh.
Lưu ý: Nếu bạn muốn tăng công suất bóng đèn, thì ống thủy tinh sẽ trở nên rất nóng. Nếu vỏ bảo vệ không được thông gió tốt, nhiệt độ sẽ tích tụ bên trong. Để kiểm soát tình hình, chúng tôi khuyên bạn nên sử dụng bộ điều khiển PID được calibratie chính xác. Điều này giúp duy trì nhiệt độ ở mức ổn định.
Dễ dàng lắp đặt và sử dụng
Chúng tôi thiết kế các bóng đèn này sao cho chúng có thể được thay thế một cách dễ dàng. Không ai muốn mất cả cuối tuần để sửa chữa hệ thống cả. Các dây điện được đặt trong các ống chống nổ, vì vậy nếu có sự cố về điện, thì sự cố sẽ được kiểm soát trong phạm vi hạn chế. Khi lắp đặt, hãy đảm bảo rằng các kết nối được siết chặt đúng tiêu chuẩn. Bạn không muốn xảy ra tình trạng cháy nổ đâu.
Nếu bạn đã sử dụng các bóng đèn IR thông thường, thì các bóng đèn này có thể được lắp đặt ngay lập tức. Chỉ cần kiểm tra lại xem các cảm biến an toàn có được điều chỉnh cho bước sóng phù hợp hay không, thì bạn có thể sử dụng chúng ngay.