Làm khô các tấm wafer MEMS một cách hiệu quả bằng công nghệ hồng ngoại
Nếu bạn đang xây dựng một nhà máy sản xuất thông minh, bạn chắc hẳn biết rằng mọi thứ đều cần được điều khiển bằng dữ liệu. Nhưng khi nói đến việc làm khô các tấm wafer cảm biến MEMS, thì cả phần cứng lẫn phần mềm đều có vai trò quan trọng không kém nhau. Đó là lý do tại sao chúng tôi đã từ bỏ các lò sấy kiểu truyền thống và chuyển sang sử dụng hệ thống hồng ngoại tần số cao.
Phương pháp này giúp việc làm khô diễn ra nhanh hơn, đồng thời ngăn chặn sự xâm nhập của các chất hóa học vào tấm wafer, gây hư hại cho chúng.
Xử lý nhiệt độ
Điểm khó trong việc làm khô các tấm wafer MEMS là làm sao loại bỏ độ ẩm một cách nhanh chóng mà không làm tổn hại đến tấm wafer. Bạn không thể chỉ đơn giản sử dụng nhiệt độ cao để hy vọng mọi thứ sẽ ổn.
Chúng tôi sử dụng các bóng đèn thạch anh có công suất cao để điều chỉnh mật độ nhiệt độ chính xác tại vị trí cần thiết. Bằng cách điều chỉnh điện áp và chu kỳ hoạt động của bóng đèn, bạn có thể thay đổi lượng nhiệt được truyền vào tấm wafer. Dù bạn đang xử lý tấm wafer mỏng hay có hình dạng phức tạp, hệ thống vẫn có thể thích ứng được.
Vì thời gian phản ứng gần như tức thì, PLC có thể điều chỉnh mức nhiệt dựa trên phản hồi thực tế. Đây chính là cách mà một nhà máy sản xuất hiện đại, số hóa nên hoạt động.
Chi tiết về phần cứng
Chúng tôi sử dụng các lớp vỏ bằng thạch anh có độ tinh khiết cao để làm vật liệu cách nhiệt cho các bộ sưởi. Tại sao ư? Bởi vì điều cuối cùng bạn muốn chính là tránh tình trạng khí độc thoát ra ngay gần tấm wafer.
Chúng tôi sắp xếp các bóng đèn thành một mạng lưới sao cho nhiệt độ được phân bố đều trên toàn bộ bề mặt tấm wafer. Chúng tôi cũng sử dụng các konektor chuyên dụng. Hãy tin tôi, bạn chắc chắn không muốn các bộ phận trong máy bị lỏng lẻo khi máy hoạt động.
Nhưng có một điểm cần lưu ý: công nghệ hồng ngoại cường độ cao tạo ra lượng nhiệt lớn. Tấm wafer sẽ khô nhanh, nhưng phần vỏ máy xung quanh lại bị ảnh hưởng nghiêm trọng. Bạn cần phải chú ý đến hệ thống làm mát và quạt thông gió, nếu không các bộ phận điều khiển sẽ bị hư hại.
Làm cho hệ thống trở nên “thông minh” hơn
Trong một nhà máy số hóa, mỗi bộ phận đều cần phải báo cáo tình trạng hoạt động của mình. Các hệ thống hồng ngoại của chúng tôi có thể kết nối trực tiếp với hệ thống SCADA.
Bạn có thể biết được khi nào bóng đèn bắt đầu hỏng, hoặc theo dõi lượng điện năng mà mỗi tấm wafer tiêu thụ. Điều này giúp bạn không cần phải tuân theo lịch trình bảo trì cứng nhắc nữa, mà có thể sửa chữa các bộ phận khi chúng thực sự cần được sửa chữa.
Khi bóng đèn bắt đầu hỏng, hệ thống sẽ báo hiệu ngay. Bạn có thể thay thế bóng đèn trước khi chất lượng sản phẩm bị ảnh hưởng. Đó chính là lợi ích thực sự của việc sử dụng hệ thống dựa trên dữ liệu.