Kızılötesi Isıtma ile Sıcak Hava Isıtması: Waferleriniz için hangisi daha etkili?
Eğer hâlâ yarı iletken işlemlerinde sıcak hava kullanıyorsanız, aslında boşuna bekliyorsunuz demektir.
Nasıl çalıştığını düşünün: Havanın sıcaklaştırılmasıyla oda da ısınır ve bir süre sonra wafer de ısınır. Bu yavaş bir reaksiyon sürecidir. Kızılötesi ısıtma ise bu aracıyı ortadan kaldırır. Elektromanyetik radyasyon kullanarak enerjiyi doğrudan waferin yüzeyine gönderir. Beklemeye gerek yoktur.
Zaman her zaman önemlidir
Yüksek kapasiteli üretim tesislerinde her saniye büyük bir değere sahiptir. Sıcak hava kullanılırsa, malzemenin zarar görmemesi için uzun sürelik ısıtma ve soğutma süreçleri gereklidir. Bu durum sinir bozucudur. Ancak kızılötesi lambalar sayesinde hedef sıcaklığa saniyeler içinde ulaşılır.
Sıcak havanın dolaşmasını beklemek yerine, fotonlar doğrudan waferin üzerine gönderilir. Bu çok hızlıdır. Böylece işlem sürelerini kısaltabilir ve daha fazla waferi işleyebilirsiniz.
“İdeal mesafenin” bulunması
Ancak kızılötesi lambayı doğrudan waferin üzerine koymak mümkün değildir. Bu durum felakete yol açar. Eğer lamba çok yakındaysa, malzeme şeklinin bozulmasına neden olur. Ama lamba çok uzaktaysa, kızılötesi ışınının etkisi azalır. Burada önemli olan, metrekare başına ne kadar watt gerektiğine bağlı olarak ideal mesafeyi bulmaktır.
Bilmeniz gereken avantajlar ve dezavantajlar
Kızılötesi ısıtma oldukça hızlıdır, ancak bir dezavantajı vardır: Yöneldiği yönde etki gösterir. Sıcak hava bir battaniye gibi parçanın etrafını sararken, kızılötesi ışın yalnızca görebildiği yerleri ısıtır. Dolayısıyla waferinizin karmaşık bir şekli varsa veya her açıdan eşit şekilde ısıtılması gerekiyorsa, tek bir lamba yeterli olmayacaktır. Muhtemelen birden fazla lamba veya enerjinin etrafa yayılmasını sağlayacak yansıtıcı bir yapıya ihtiyacınız olacaktır. Unutmayın ki bu durumda daha fazla alan gerekecektir.
Son uyarı: Kesin bir PID kontrol cihazı edinin. Enerji transferi çok hızlı gerçekleştiğinden, sensörler anlık tepki vermezse sıcaklık kontrolü zorlaşır ve tüm işlem bozulabilir.