Cam levhalar söz konusu olduğunda, bunlar silisyumdan farklı bir yapıya sahiptir. Şeffaftırlar, daha az ısı kapasitesine sahiptirler ve her türlü sıcaklık değişimine karşı çok daha hassastırlar. Eğer sıcak bölge biraz bile hareket ederse, fotorezistin şekli bozulur, CD kontrolü kötüleşir ve ürün kalitesi düşer. İşte bu durumlarda cam işleme için tasarlanmış kızılötesi lambalar devreye girer; bu lambalar ısıyı tam da ihtiyaç duyulan yere yönlendirir.
Sistemin içindeki önemli faktörler
Sistemimizi, camın ısısı emme özelliklerine göre ayarlanmış kısa dalga boyundaki kızılötesi vericiler üzerine kurduk. Böylece saniyeler içinde hızlı bir ısıtma gerçekleşir. Isıtma yüzeyindeki levha seviyesindeki düzgünlük ±0,1°C civarındadır; bu da hem yumuşak hem de sert ısıtma işlemlerinde tutarlı bir fotorezist akışı ve kuruma sağlar. Bu cihaz, 1–100 sınıfı temiz odalarda çalışır ve cihaz düzeyinde hiçbir partikül oluşmaz. Üretim sürecinde tekrarlanabilirlik sürekli olarak korunur. 5.000 saatten fazla kullanımda bile verimlilik %5’ten az düşer ve termal profil her parti için aynı kalır.
Litografide sıcaklık sabit olmalıdır; tahminlere dayanmamalıdır. Kızılötesi lambalarımız, yalnızca levhayı ve onun çevresindeki bölgeyi ısıtarak enerji tüketimini azaltır ve böylece işlem süresi kısalar. Böylece daha iyi bir CD düzgünlüğü elde edilir, yeniden işleme gereksinimi azalır ve aşırı veya yetersiz ısıtmadan kaynaklanan atıklar azalır. Hızlı ısınma sayesinde döner ısıtma işlemlerinin süresi kısalar ve temiz, kuru ısı sayesinde yüzeydeki kusurlar daha sonra ambalajlama ve denetim aşamalarında ortaya çıkmaz.
Birkaç pratik bilgi daha: Kurulum için hassas optik hizalamaya ve EMI’yi diğer sistemlerden uzak tutmak için özel filtrelenmiş güç kaynağına ihtiyaç vardır. Mevcut sistemlere entegrasyon yapılıyorsa, özel bir montaj braketine ve kısa bir yeniden yapılandırma süresine ihtiyaç vardır. Lambalar ısındıktan sonra, ±0,1°C değerine ulaşması için kısa bir ısıtma süresi gereklidir; bir kez stabil olduktan sonra işlem devam eder. Ayrıca verici spektrumunu fotorezist kimyasına ve cam alt tabanına uygun hale getirmek gerekir; bu işlem için tek bir standart yoktur ve uygun ayarlamalar yapılmadığında istenmeyen sonuçlar ortaya çıkabilir.