
Laat je verwarmingsinstallatie je laboratorium niet in de lucht vliegen!
Het verwarmen van baden gebruikt voor het reinigen van semiconductoren is eerlijk gezegd best spannend. Je werkt immers met chemische dampen die gemakkelijk kunnen ontbranden. Als je er gewoon een gewone infraroodlamp in gooit, veroorzaak je waarschijnlijk een catastrofe.
Het geheim om dit op veilige manier te doen, komt neer op één ding: de afsluiting. Je moet ervoor zorgen dat de elektrische verbindingen en de buitenlucht nooit in contact komen.
Oplossingen tegen explosies
We gebruiken een speciaal soort kwartsglasomhulling en een waterdichte afsluiting. Stel je het voor als een kluis. We moeten ervoor zorgen dat eventuele vonken die zich binnenin de lamp voordoen, blijven waar ze zijn.
Het gevaarlijke is dat in deze chemische omgevingen al een klein lek voldoende is. Als deze vluchtbare dampen in de behuizing terechtkomen, kan de hitte van het filament tot een explosie leiden. Dat is niet goed voor de apparatuur, en zelfs nog erger voor de mensen in de ruimte.
Om dit te voorkomen, gebruiken we afsluitmiddelen die bestand zijn tegen de corrosieve stoffen die worden gebruikt bij het reinigen van semiconductoren. We behandelen ook het glas zodat het niet wordt aangetast door de chemicaliën. Als de glazen wanden te dun worden door slijtage, gaat de lamp kapot.
Hitte versus stabiliteit
Onze infraroodapparaten zijn zo ontworpen dat ze de wafers snel kunnen verwarmen. We gebruiken kortegolfstraling, omdat deze gemakkelijk door het vloeibare medium heen komt.
Maar er is een nadeel: deze intense hitte zorgt voor veel druk op de afsluitingen. Je moet ook goed opletten hoe je de apparaten monteert. Als de bevestigingsonderdelen te strak zitten en er geen ruimte is voor de metalen onderdelen om uit te breiden wanneer ze warm worden, zal de kwartstube gewoon breken.
Praktische tips voor de werkvloer
Wanneer je deze apparaten installeert, let dan goed op de verbindingen. Gebruik brandveilige behuizingen voor alle verbindingen.
Onthoud: de lamp is maar één onderdeel van het geheel. Als de ventilatie niet werkt en de ruimte zich vult met dampen, is deze afsluiting het enige wat je beschermt tegen een catastrofe.
Doe jezelf een plezier: houd de afsluitingen schoon en controleer ze regelmatig op kleine scheuren. Het kost maar vijf minuten, maar het kan je leven redden.