공기를 가열하는 대신, 직접 부품을 가열하는 것이 좋습니다.
만약 여전히 반도체 생산 공정에서 강제로 공기를 이용해 부품을 가열하고 있다면, 아마도 같은 문제에 직면하고 있을 것입니다. 공기는 열을 전달하는 데 매우 비효율적입니다. 결국, 기판이 실제로 따뜻해질 때까지 기다려야 합니다. 그동안 엄청난 에너지가 낭비됩니다.
더 나은 방법이 있습니다. 바로 오존이 발생하지 않는 적외선을 사용하는 것입니다. 적외선 램프는 공기 대신 전자기파를 사용하여 부품을 직접 가열합니다. 대류 현상을 기다릴 필요도 없으며, 에너지도 절약됩니다. 이는 단순히 전도 방식에서 복사 방식으로의 전환일 뿐이며, 상당한 시간을 절약할 수 있습니다.
하지만 일반적인 적외선에는 단점이 있습니다. 보통 단파 적외선은 파장이 산소 분자와 충돌하면서 오존을 생성할 수 있습니다. 클린룸에서는 오존이 치명적입니다. 오존은 공구를 손상시키고 섬세한 부품들을 망가뜨립니다.
이 문제를 해결하기 위해, 우리는 필터를 사용하여 VUV 스펙트럼을 차단합니다. 그러면 필요한 열을 얻으면서도 환경을 깨끗하게 유지할 수 있습니다. 게다가, 공기를 정화하기 위해 거대하고 시끄러운 배기 시스템을 설치할 필요도 없습니다.
물론, 이것은 “플러그 앤 플레이”식의 해결책은 아닙니다. 반사판을 제대로 설치해야 합니다. 조금만 잘못되어도 과열된 부분이 생길 수 있습니다. 이 업계에서 과열된 부분은 웨이퍼가 손상되거나 제품이 망가지는 원인이 됩니다.
또한, 적외선은 매우 강력한 열을 발생시킵니다. 교체하기 전에는 챔버를 잘 확인해야 합니다. 필요하다면 램프 주변에 냉각 팬을 추가해야 합니다. 그래야만 와이어가 손상되는 것을 방지할 수 있습니다.
결국, 생산 효율을 높이고 싶다면 이 방법을 사용하는 것이 가장 좋습니다. 공기와 싸우지 말고, 직접 부품을 가열하는 것이죠.