फैब फ्लोर पर, फोटोरेजिस्ट को गर्म करने की प्रक्रिया में होने वाला तापीय विचलन, उत्पादन दर को कम करने का कारण बनता है। यदि “सॉफ्ट बेक” प्रक्रिया सुसंगत न हो, तो वेफर की सतह पर मौजूद रेखाओं की चौड़ाई में विचलन होने लगता है। यदि “हार्ड बेक” प्रक्रिया भी सुसंगत न हो, तो वेफर पर अशुद्धियाँ एवं अवशेष बन जाते हैं। हमने ऐसा सिरेमिक इन्फ्रारेड हीटर पैनल विकसित किया है, जो इस तरह की अस्थिरताओं को दूर करता है, एवं स्थिर तापमान प्रदान करता है – बिना किसी ओवरशूट या लैग के।
क्या महत्वपूर्ण है?
यह हीटर, सिरेमिक-लैप्ड शॉर्ट-वेव इन्फ्रारेड तत्वों का उपयोग करके विकिरण के माध्यम से ही ऊष्मा प्रदान करता है। इससे सेटपॉइंट तक पहुँचने में 2 सेकंड से भी कम समय लगता है, एवं वेफर की सतह पर तापमान में ±0.1°C की सुसंगतता बनी रहती है। विभिन्न बैचों में तापमान में ±0.5°C की ही विचलनता होती है, इसलिए तापीय स्थिरता बनी रहती है। इसकी सतह ऐसी है कि इससे कोई कण निकलता ही नहीं; इसलिए यह क्लीनरूम क्लास 1–100 के मानकों को पूरा करता है। इसकी सामग्री, कठोर सफाई प्रक्रियाओं को भी सहन कर सकती है, बिना किसी गैस निकलने के। विद्युत के मामले में, यह सेमीकंडक्टर उपकरणों के मानकों को पूरा करता है – कम EMI एवं मजबूत इन्सुलेशन।
लिथोग्राफी में इसका महत्व
लिथोग्राफी एवं फोटोरेजिस्ट प्रसंस्करण में, ऐसी सटीकता से क्रिटिकल डाइमेंशनों पर नियंत्रण बना रहता है, एवं पुनर्प्रसंस्करण की आवश्यकता कम हो जाती है। “सॉफ्ट बेक” प्रक्रिया सुसंगत रहती है, इसलिए वेफर पर कोई घोल नहीं रह जाता। “हार्ड बेक” प्रक्रिया से वेफर पर मौजूद अशुद्धियाँ दूर हो जाती हैं। तेज़ प्रतिक्रिया से बेकिंग प्रक्रियाओं के बीच का समय कम हो जाता है, इसलिए ऊर्जा की खपत भी कम हो जाती है। यह हीटर 24/7 काम कर सकता है, बिना किसी रखरखाव के – न तो फिलामेंट जलता है, न ही कोई हॉट स्पॉट बनता है… इसलिए अप्रत्याशित रुकावटें भी नहीं होतीं। आयातित हीटरों का विकल्प के रूप में, यह मौजूदा उपकरणों में आसानी से इस्तेमाल किया जा सकता है… इससे प्रक्रिया की गुणवत्ता बनी रहती है, एवं रिप्लेसमेंट लागत भी कम हो जाती है।
फील्ड नोट्स
इस हीटर को इंस्टॉल करते समय, उपकरण के यांत्रिक आकार एवं कनेक्टर प्रकार को ध्यान में रखना आवश्यक है। अलाइनमेंट टॉलरेंस की जाँच आवश्यक है… ऐसा करने से ही सतह पर तापमान में सुसंगतता बनी रहती है। यह हीटर, स्थिर वोल्टेज के साथ ही सबसे अच्छा काम करता है… वोल्टेज में बड़े बदलाव सेटपॉइंट की सटीकता को प्रभावित कर सकते हैं… इसलिए लोकल वोल्टेज कंडीशनर उपयोग में आना आवश्यक है। वेफर पर तापमान को मापने हेतु एक छोटा टेस्ट किया जाना चाहिए, ताकि उचित सेटिंग्स निर्धारित की जा सकें।