ग्लास वेफरों के मामले में, सिलिकॉन की तुलना में ये बिल्कुल अलग होते हैं। ये पारदर्शी होते हैं, इनमें ऊष्मा-संचयन की क्षमता कम होती है, एवं ये किसी भी तापमान-परिवर्तन के प्रति बहुत ही संवेदनशील होते हैं। यदि गर्म क्षेत्र में थोड़ा भी परिवर्तन हो जाए, तो फोटोरेसिस्ट की संरचना बिगड़ जाती है, CD-नियंत्रण प्रभावित हो जाता है, एवं उत्पादन में कमी आ जाती है। ऐसी स्थिति में ग्लास-प्रसंस्करण हेतु उपयोग में आने वाले इन्फ्रारेड लैंपों का उपयोग किया जाता है – ये ऊष्मा को ठीक उसी जगह पहुँचाते हैं, जहाँ उसकी आवश्यकता है।
प्रक्रिया में क्या महत्वपूर्ण है?
हमने ऐसी प्रणाली विकसित की है, जिसमें शॉर्ट-वेव NIR एमिटरों का उपयोग किया गया है; इससे त्वरित एवं समान तापन होता है। वेफरों पर तापमान की एकरूपता ±0.1°C तक रहती है, जिससे फोटोरेसिस्ट का प्रवाह एवं उसका उपचार सुचारू रहता है। यह उपकरण क्लास 1–100 के क्लीनरूमों में ही काम करता है; इसमें कोई भी कण उत्पन्न नहीं होता। इसके कारण उत्पादन प्रक्रिया में निरंतरता बनी रहती है। 5,000 घंटों से अधिक समय तक उत्पादन प्रक्रिया स्थिर रहती है, एवं तापमान-प्रोफ़ाइल भी हर बार एक ही रहती है।
लिथोग्राफी में तापमान को स्थिर रखना आवश्यक है… अनुमान पर नहीं। हमारे इन्फ्रारेड लैंप, केवल वेफर एवं उसके आसपास के क्षेत्र को ही गर्म करते हैं; इससे ऊर्जा-खपत कम हो जाती है, एवं प्रक्रिया अधिक सटीक हो जाती है। इससे CD-एकरूपता बेहतर हो जाती है, पुनर्प्रक्रियाओं की आवश्यकता कम हो जाती है, एवं अत्यधिक/कम तापन के कारण होने वाले नुकसान भी कम हो जाते हैं। तेज़ तापन से प्रक्रिया-समय कम हो जाता है, एवं स्वच्छ/शुष्क ऊष्मा के कारण सतह पर कोई दोष नहीं आता।
कुछ व्यावहारिक टिप्स:
इस उपकरण की स्थापना हेतु सटीक ऑप्टिकल संरेखण आवश्यक है; साथ ही, ईएमआई को रोकने हेतु विशेष फिल्टर्ड विद्युत-आपूर्ति भी आवश्यक है। यदि इसे पुरानी प्रणालियों में एकीकृत किया जा रहा है, तो विशेष माउंटिंग-ब्रैकेट एवं संक्षिप्त पुनर्कॉन्फ़िगरेशन की आवश्यकता होगी। लैंप गर्म होने के बाद, उसे थोड़ी देर तक ऐसे ही रखना आवश्यक है, ताकि तापमान ±0.1°C पर पहुँच जाए। एक बार यह स्थिर हो जाने के बाद, प्रक्रिया सुचारू रूप से चलती रहती है। एमिटर के स्पेक्ट्रम को आपके फोटोरेसिस्ट एवं ग्लास-सब्सट्रेट के अनुरूप ही चुनना आवश्यक है… यह कोई सार्वभौमिक समाधान नहीं है… यदि ऐसा नहीं किया गया, तो परिणाम खराब हो सकते हैं।