वास्तव में, तापमान में होने वाले परिवर्तन कोई सैद्धांतिक मुद्दा नहीं है… यह तो उत्पादन प्रक्रिया पर सीधा प्रभाव डालता है। यदि तापमान में आधा डिग्री...

फैब्रिकेशन लाइन पर, फोटोरेजिस्ट को गर्म करने की प्रक्रिया में 0.5°C का अंतर ही उत्पादों के महत्वपूर्ण आयामों में नैनोमीटर स्तर पर परिवर्तन ला सकता...

फैब फ्लोर पर, ड्रिफ्ट बर्दाश्त नहीं किया जा सकता। फोटोरेसिस्ट बेक में 0.3°C का परिवर्तन आपके क्रिटिकल डायमेंशन बजट को समाप्त कर देता है। यील्ड तब गिर...