בחדרי הייצור, שינוי של 0.5°C במהלך תהליך החימום של הפוטורזיסט מספיק כדי לגרום לשינוי בממדים הקריטיים של הוואפר – ברמה של ננומטרים. אם יש בעיה באחת המשלוחים, יש צורך לזרוק את כל המשלוח. פיתחנו את סדרת החיממים התעשייתיים שלנו על בסיס עובדה זו: שליטה תרמית שמבטיחה אחידות בטמפרטורה ברמת הוואפר, בטווח של ±0.1°C, יום אחר יום, במהלך כל שלבי החימום.
מה חשוב מבחינה טכנית? החלק החשוב ביותר הוא החיממים שמתאימים לחדרי ייצור נקיים, ושנועדו לשליטה תרמית ברמת הסמיכות הנדרשת. חיממים המשתמשים בהלוגן או בקרינה באורך גל ארוך מעבירים את החום ישירות לפוטורזיסט ולגביש, כך שניתן להגיע לטמפרטורה הרצויה במהירות, מבלי לפגוע באחידות של הטמפרטורה. הטמפרטורה נשארת יציבה לאורך כל הוואפר, כך שניתן לשלוט ברוחב הוואפר באופן מדויק.
מניעת יצירת חלקיקים נעשית באמצעות חומרים שאינם פולטים גזים, ובאמצעות חיפויים שמונעים חדירת גזים – כל אלו נועדו לשימוש בחדרי ייצור מסוג Class 1–100. החיממים האלו פועלים 24/7 ללא הפסקות, ומשך התחזוקה שלהם ארוך, מה שאומר פחות חלקי חילוף ופחות עבודת תחזוקה.
למה זה חשוב בתהליך הליתוגרפיה? בתהליך הליתוגרפיה, אחידות הטמפרטורה במהלך החימום מביאה לפחות עבודה חוזרת ולשיעור הצלחה גבוה יותר בפעם הראשונה. צריכת האנרגיה יורדת, מכיוון שהחיממים מגיעים במהירות לטמפרטורה הרצויה ושומרים עליה, מה שמפחית את העלות התרמית לכל ואפר.
החיממים האלו מתאימים בקלות למערכות הקיימות, כך שאין צורך בהתאמות נוספות. ומכיוון שאותה פלטפורמה תרמית יכולה לשמש במספר תחנות חימום, אסטרטגיית החלקי החילוף שלכם נשארת פשוטה.
על מה צריך לשים לב? יש להתאים את החיממים לגאומטריה של החדר ולזרימת האוויר בו – אפילו הבדל קטן יכול לגרום לבעיות. יש לתכנן ניסויים קצרים כדי להתאים את החיממים לתנאים הספציפיים של החדר ולזרימת האוויר בו.
כמו כן, יש לוודא שהמתח החשמלי וסוגי החיבורים מתאימים לציוד שלכם. אם זה לא יהיה כך, יהיה צורך בעבודה נוספת שלא תוכננה מראש.