בפועל, שינויי הטמפרטורה אינם עניין אקדמי – הם יכולים לפגוע באיכות המוצר הסופי. אם החימום קל מדי, זה עלול לפגוע בעובי הפוטורזיסט ובשליטה בעובי השכבה...

בחדרי הייצור, שינוי של 0.5°C במהלך תהליך החימום של הפוטורזיסט מספיק כדי לגרום לשינוי בממדים הקריטיים של הוואפר – ברמה של ננומטרים. אם יש בעיה באחת...

On the fab floor, you can’t afford drift. A 0.3°C shift in the photoresist bake and your critical dimension budget is gone. Yield slips before...