半导体洁净室推车式加热器

在化学清洁环境中对半导体组件进行加热时，如何确保安全呢？ 如果在充满易挥发、易燃气体的环境中对半导体组件进行加热，那可真是糟糕至极的情况。普通的红外灯属于“开放式”结构，其加热元件直接暴露在外。在充满有害气体的环境中，哪怕是微小的火花或过热的点，都可能引发灾难。 因此，我们不再使用开放式红外灯，而...