晶圆加热的安全距离

红外线加热与热风加热：哪种方式更适合用于半导体晶圆的加工呢？ 如果你仍然使用热风循环的方式来处理半导体晶圆，那其实就是在浪费时间而已。其工作原理是：先加热空气，再让空气传递热量到晶圆上，最终晶圆才会变热。这是一个缓慢的连锁反应过程。而红外线加热则省去了这一中间环节——它直接利用电磁辐射将能量传递到...