Üretim alanında, foto direnç malzemesinin ısıtılması sırasında meydana gelen termal değişimler, üretim verimliliğini olumsuz etkiler. Eğer yumuşak ısıtma işlemi düzgün yapılmazsa, çizgi kalınlıkları değişmeye başlar. Düzensiz sert ısıtma ise kir ve artık maddelerin oluşmasına neden olur. Bu tür değişiklikleri ortadan kaldırmak için seramik kaplı kısa dalga kızılötesi ısıtıcı paneller geliştirdik. Bu paneller, belirlenen sıcaklığı aşmadan veya gecikme olmadan sabit bir şekilde sağlar.
Alt yapı açısından önemli olanlar
Bu ısıtıcılar, konveksiyon yerine radyasyon yoluyla ısı sağlar; bunun için seramikle kaplanmış kısa dalga kızılötesi elemanlar kullanılır. Belirlenen sıcaklığa ulaşmak için 2 saniyeden daha kısa bir süre yeterlidir. Ayrıca, aktif alan üzerindeki sıcaklık uniformitesi ±0,1°C civarındadır. Partiden partiye tekrarlanabilirlik ise ±0,5°C civarındadır; böylece termal kontrol sağlanmış olur. Yüzey, hiçbir parçacığın dökülmesini engelleyecek şekilde tasarlanmıştır; bu sayede temiz oda koşulları korunur. Malzemeler ise agresif temizlik kimyasallarına karşı dayanıklıdır ve gaz salımı yapmaz. Elektriksel olarak ise yarı iletken ekipman standartlarını karşılar; düşük EMI seviyesi ve sağlam yalıtım özelliklerine sahiptir.
Litografi açısından neden önemli?
Litografi ve foto direnç işlemlerinde bu hassasiyet, daha düzgün kritik boyut kontrolü ve daha az yeniden işlem gerektirmesi anlamına gelir. Yumuşak ısıtma işlemleri düzenli olduğundan çözücülerin malzeme içinde kalması engellenir. Sert ısıtma ise yapışmayı stabil hale getirerek kenarlarda oluşan kir ve artık maddelerin azalmasını sağlar. Hızlı tepki süresi, ısıtma işlemleri arasındaki bekleme sürelerini azaltır; böylece enerji tüketimi artmaz. Bu paneller 24/7 çalışabilir ve minimum bakım gerektirir; böylece planlanmamış duruşlar ortadan kalkar. İthal ısıtıcılara alternatif olarak kullanılabilecek bu paneller, mevcut ekipmanlara uyum sağlar ve yedek parça maliyetlerini düşürür.
Kullanım notları
Montaj sırasında ekipmanın mekanik yapısı ve bağlantı tipi dikkate alınmalıdır. Hizalama toleranslarına dikkat edilmelidir; bu sayede istenilen yerde uniformite sağlanır. Paneller, sabit bir hat voltajı ile en iyi şekilde çalışır; büyük voltaj dalgalanmaları belirlenen sıcaklık değerlerini etkileyebilir. Bu yüzden yerel bir voltaj regülatörü kullanmak akıllıca olur. Sıcaklığın waf üzerindeki dağılımını ölçmek için kısa bir test yapılmalı ve uygun ayarlar belirlenmelidir.