Üretim alanında, fotoresistin ısıtılması bir “duraklama” değildir; bu, zorunlu bir adımdır. Eğer sıcak plaka yerinden oynarsa, CD kontrolü de bununla birlikte değişir. Eğer eşitlik sağlanamazsa, wafere yayılan hatalar artar. MEMS’te termal denge çok hassastır ve sıcaklık hatası uzun süre küçük kalmaz.
Teknik olarak önemli olanlar MEMS’in termal kontrolünü sağlamak için bu kızılötesi ısıtıcıyı geliştirdik: Hızlı tepki vermesi için kısa dalga boylu kızılötesi ışınlar kullanılır; istikrarlı çıkış için ise kuvars-halojen elemanlar tercih edilir. Ayrıca, wafernin her noktasında ±0,1°C içinde eşitlik sağlayacak şekilde kapalı döngülü bir tasarım kullanılır. Isıtma bölgesi, 1–100 sınıfı temiz odalarda çalışacak şekilde tasarlanmıştır; malzemeler ve yüzey işlemleri, parça oluşumunu sıfıra indirmek ve gaz salınımını engellemek amacıyla seçilmiştir. Önemli olan tekrarlanabilirliktedir; her ısıtma işlemi, her parti, her gün aynı sonucu vermelidir.
Neden MEMS iş akışına uygundur? MEMS’te hem yumuşak hem de sert ısıtma yöntemleri kullanılır. Bu ısıtıcı, her döngüde aynı sıcaklık profili sağlar; böylece hem doğru açıdan bakılan bölgeler hem de diğer bölgeler tutarlı şekilde gelişir. Hızlı sıcaklık artışı, termal tepki süresini azaltır ve böylece döngü süresi kısalarak wafere yayılan hatalar en aza indirilir.
Enerji tüketimi azalır; çünkü sadece hedeflenen bölge ısıtılır, tüm yapı değil. Güvenilirlik ise üretimin kesintisiz devam etmesiyle ortaya çıkar; böylece beklenmedik duruşlar veya acil durum çağrıları olmaz.
Planlamanız gerekenler Montaj sürecinde, cihazın arayüzünün uyumlu olması ve voltaj ile soğutma sisteminin doğru şekilde ayarlanması gerekmektedir. Genellikle 240V gerilim ve özel hava veya su soğutma sistemleri kullanılır. Isıtıcı, standart litografi ve izleme sistemleriyle entegre olur; ancak optik yolun açık kalması gerekmektedir. Herhangi bir engel, termal düzeni bozar.
Temiz oda koşullarını önceden planlayın. Sınırlı alanlar nedeniyle doğru alanın ve servis erişiminin sağlanması gerekmektedir. Bunu doğru şekilde hallederseniz, işlem daha sorunsuz ilerler. Sonrasında ihtiyacınız olan tek şey teknik özelliklerdir.