Сокращение выбросов углерода на производстве с помощью инфракрасных ламп с золотым покрытием
Если вы хотите снизить объем выбросов углерода при производстве полупроводников, необходимо начать с контроля температуры. Именно здесь теряется больше всего энергии.
Поэтому мы используем инфракрасные лампы с двумя трубками и золотым покрытием. Это не обычные нагреватели – скорее, это точные инструменты, которые направляют энергию прямо на поверхность подложки. Таким образом не тратится время и энергия на нагрев всей камеры ради достижения правильной температуры пластины.
Почему именно золото?
Стандартные кварцевые трубки имеют утечки энергии; она рассеивается в окружающем воздухе. Благодаря тонкому золотому покрытию мы можем изменить способ распространения тепла. Золото отражает инфракрасное излучение обратно к цели, что позволяет концентрировать поток тепла. В результате получается более точный контроль над температурой, а время нагрева значительно сокращается. Когда лампа быстрее достигает нужной температуры, снижается количество потребляемой энергии на единицу продукции. Это простой способ создания «зеленого завода» – достаточно прекратить тратить энергию впустую.
Преимущества двухтрубной конструкции
Двухтрубная конструкция позволяет удвоить площадь нагрева без увеличения размеров устройства. Это позволяет использовать большую мощность, не перегружая филаменты. Такая конструкция идеальна для быстрого теплового обработки, где требуется высокая плотность мощности. Но будьте осторожны: при такой высокой мощности необходимо обеспечить эффективную систему охлаждения. Если поток воздуха слабый, лампы могут быть повреждены. Это компромисс, но его легко устранить, если соблюдены все технические требования.
Как это помогает планете
Замена старых резистивных нагревателей или конвекционных печей на инфракрасные лампы с золотым покрытием – это разумное решение. Эти лампы можно подключить к контроллерам, что позволяет нагревать только те участки, где это необходимо. Это сокращает время обработки и потребление энергии. В результате снижается углеродный след всего производства. Таким образом можно достичь целей углеродной нейтральности, не снижая производительность. Это и есть настоящий выигрыш.