Pemanasan Inframerah Berbanding Udara Panas: Yang mana satu yang lebih sesuai untuk proses pemprosesan wafer?
Jika anda masih menggunakan kaedah pemanasan udara panas untuk proses pemprosesan semikonduktor, sebenarnya anda hanya membuang masa sahaja. Prosesnya berlaku secara perlahan – udara dipanaskan, kemudian udara tersebut memanaskan ruang di mana wafer berada. Akhirnya, wafer akan menjadi panas setelah beberapa waktu. Ini merupakan reaksi berantai yang perlahan. Sebaliknya, pemanasan inframerah mengelakkan keperluan untuk menggunakan udara sebagai pengantara. Ia menggunakan radiasi elektromagnetik untuk menghantar tenaga terus ke permukaan wafer. Tiada lagi masa tunggu yang diperlukan.
Waktu sangat penting
Dalam kilang pemprosesan yang berkapasiti tinggi, setiap saat mempunyai nilai yang tinggi. Dengan kaedah udara panas, anda perlu menunggu untuk memastikan suhu mencapai tahap yang sesuai, agar bahan tidak rosak. Ini sangat menyusahkan. Namun, dengan lampu inframerah, suhu sasaran dapat dicapai dalam masa beberapa saat sahaja. Anda tidak perlu menunggu udara panas beredar di sekitar wafer; sebaliknya, foton dipancarkan terus ke permukaan wafer. Ini sangat cepat. Dengan cara ini, anda dapat mempercepatkan proses pemprosesan wafer.
Cari jarak yang sesuai
Anda tidak boleh meletakkan lampu inframerah terlalu dekat dengan wafer. Ini akan menyebabkan kawasan tertentu menjadi terlalu panas, sehingga merosakkan bahan tersebut. Namun, jika lampu diletakkan terlalu jauh, intensiti haba yang dihasilkan akan berkurangan. Oleh itu, anda perlu mencari jarak yang tepat, bergantung pada jumlah watt per sentimeter persegi yang diperlukan.
Kelebihan dan kekurangan
Pemanasan inframerah memang cepat, tetapi ia mempunyai kelemahan: ia hanya berfungsi pada arah tertentu sahaja. Udara panas pula memanaskan seluruh permukaan wafer. Jadi, jika wafer mempunyai bentuk yang kompleks atau perlu dipanaskan secara seragam dari semua arah, satu lampu saja tidak cukup. Anda mungkin perlu menggunakan beberapa lampu atau ruang reflektif untuk memantulkan tenaga tersebut. Ingatlah bahawa ini akan memerlukan ruang yang lebih besar di kilang anda.
Peringatan penting
Pastikan anda menggunakan pengawal suhu yang tepat. Kerana proses pemindahan tenaga berlaku dengan sangat cepat, mudah untuk melebihi suhu yang ditetapkan, sehingga merosakkan keseluruhan proses pemprosesan. Pastikan sensor berfungsi dengan baik agar dapat mengawal suhu secara tepat.