Dalam proses pembuatan wafer kaca, ia merupakan bahan yang berbeza daripada silikon. Wafer kaca bersifat telus, mempunyai jisim haba yang lebih rendah, dan sangat sensitif terhadap perubahan suhu. Jika zon panas berubah sedikit sekalipun, profil fotoresist akan berubah, sehingga kawalan ketepatan CD menjadi tidak tepat. Ini akan menyebabkan penurunan kualiti produk sebelum proses pengeluaran selesai. Di sinilah lampu inframerah yang digunakan untuk pemprosesan kaca sangat berguna – ia menghasilkan haba tepat di tempat yang diperlukan, dan bukan di tempat lain.
Apa yang penting dalam sistem ini
Kami membina sistem ini menggunakan pengeluar cahaya inframerah gelombang pendek yang disesuaikan untuk menyerap haba oleh kaca. Dengan cara ini, pemanasan dapat dilakukan dengan cepat, dengan masa tindak balas kurang dari satu saat. Kestabilan suhu pada permukaan wafer adalah sekitar ±0.1°C, yang memastikan proses pemanasan berjalan dengan lancar. Alat ini boleh digunakan dalam bilik bersih tahap 1–100, dengan pengeluaran zarah habuk yang hampir sifar. Hasilnya, prestasi alat ini tetap stabil walaupun selepas 5,000 jam penggunaan, dengan penurunan kualiti kurang dari 5%. Profil haba juga tetap konsisten dari satu batch ke batch yang lain.
Dalam proses litografi, suhu perlu dikawal dengan tepat, bukan hanya secara aproximatif. Lampu inframerah kami membantu mengurangkan pembaziran tenaga dengan memanaskan hanya wafer dan kawasan sekitarnya sahaja. Dengan cara ini, penggunaan tenaga berkurangan, dan proses pemanasan menjadi lebih efisien. Hasilnya, ketepatan CD meningkat, jumlah barang yang perlu diperbaiki berkurangan, dan pembaziran akibat pemanasan yang berlebihan atau tidak cukup juga berkurangan. Proses pemanasan yang cepat juga memendekkan masa yang diperlukan untuk menyelesaikan proses tersebut. Suhu yang konsisten pula membantu mengelakkan kecacatan pada permukaan wafer semasa proses pembungkusan dan pemeriksaan.
Berikut adalah beberapa nota praktikal. Pemasangan alat ini memerlukan penyesuaian optik yang tepat, serta sumber kuasa yang terpisah untuk mengelakkan gangguan elektromagnetik. Jika alat ini digabungkan dengan sistem lama, diperlukan braket khusus untuk pemasangan, serta masa yang singkat untuk menyesuaikan alat tersebut. Selepas lampu dipanaskan, biarkan ia mencapai suhu yang diinginkan selama beberapa saat; setelah itu, proses pemanasan akan berjalan dengan lancar. Pastikan spektrum cahaya yang digunakan sesuai dengan jenis fotoresist dan bahan kaca yang digunakan. Ini bukanlah proses pemanasan yang boleh dilakukan secara seragam untuk semua jenis bahan, dan kesilapan mudah berlaku jika penyesuaian yang betul tidak dilakukan.