Mengeringkan Wafer MEMS dengan Menggunakan Sinar Infra Merah
Jika anda sedang membina fasiliti pembuatan canggih, anda pasti tahu bahawa segala proses perlu dikendalikan berdasarkan data. Namun, apabila melibatkan pengeringan wafer sensor MEMS, perkakasan yang digunakan juga sama pentingnya seperti perisian yang digunakan. Itulah sebabnya kami meninggalkan kaedah pengeringan menggunakan ketuhar konvensional lama, dan beralih kepada sistem inframerah gelombang pendek.
Cara ini lebih cepat. Selain itu, ia juga dapat mengelakkan bahan kimia daripada merosakkan wafer tersebut.
Menguruskan Panas
Masalah utama dalam proses pengeringan wafer MEMS ialah bagaimana untuk mengeluarkan kelembapan dengan cepat tanpa merosakkan wafer tersebut. Anda tidak boleh sekadar menggunakan haba yang tinggi tanpa memikirkan akibatnya.
Kami menggunakan lampu kuarsa berkuasa tinggi untuk menghasilkan haba yang tepat di kawasan yang diperlukan. Dengan menyesuaikan voltan dan frekuensi penggunaan tenaga, kita dapat mengubah intensiti haba tersebut secara dinamik. Tidak kira sama ada wafer tersebut nipis atau mempunyai bentuk yang kompleks, sistem ini akan menyesuaikan diri sendiri.
Oleh kerana masa tindak balasnya hampir serta-merta, PLC dapat menyesuaikan suhu berdasarkan maklum balas masa nyata. Inilah cara yang sepatutnya digunakan oleh fasiliti pembuatan moden yang berbasis digital.
Butiran Perkakasan
Kami menggunakan selubung kuarsa berkualiti tinggi untuk alat pemanas. Mengapa? Kerana perkara terakhir yang kita mahu ialah berlakunya pelepasan gas berbahaya di sekitar wafer tersebut.
Kami menyusun lampu-lampu ini dalam susunan tertentu agar haba dapat tersebar secara merata pada setiap bahagian wafer. Kami juga menggunakan penyambung khas. Percayalah, anda tentu tidak mahu komponen-komponen tersebut bergetar ketika mesin beroperasi.
Namun, masalahnya ialah sinar infra merah yang kuat akan menyebabkan suhu di sekeliling wafer menjadi sangat tinggi. Wafer akan kering dengan cepat, tetapi komponen lain di sekelilingnya akan rosak. Anda perlu memastikan sistem penyejukan berfungsi dengan baik, jika tidak, komponen elektronik anda akan rosak.
Membuatnya “Pintar”
Dalam fasiliti pembuatan digital, setiap komponen perlu memberikan maklumat tentang keadaannya. Sistem inframerah kami boleh disambungkan terus ke sistem SCADA anda. Anda boleh mengetahui bila mana lampu mulai rosak, atau berapa banyak tenaga yang digunakan oleh setiap wafer. Ini membolehkan anda memperbaiki masalah tersebut tepat pada waktunya.
Apabila lampu mulai rosak, sistem akan memberi amaran. Anda boleh menggantikan lampu tersebut sebelum kadar kelulusan produk menurun. Itulah kelebihan menggunakan sistem yang berbasis data.