Di ruang pengeluaran, proses pembakaran bahan fotoresist bukanlah sesuatu yang boleh ditangguhkan. Ia merupakan proses yang wajib dilakukan. Jika suhu di permukaan panas berubah, kawalan kualiti cakera juga akan terjejas. Jika keseragaman suhu tidak terjaga, kualiti cakera akan menurun. Dalam teknologi MEMS, pengawalan suhu sangat penting; sebarang perubahan suhu akan memberi kesan negatif kepada kualiti produk.
Apa yang penting dari segi teknikal
Kami membangunkan pemanas inframerah ini untuk memastikan pengawalan suhu yang tepat dalam teknologi MEMS. Pemanas ini menggunakan gelombang inframerah pendek untuk mendapatkan respons yang cepat, serta elemen kuarsa-halogen untuk menghasilkan output yang stabil. Reka bentuknya juga direka untuk memastikan keseragaman suhu pada tahap ±0.1°C. Zon panas ini direka untuk digunakan dalam bilik bersih kelas 1–100, dengan bahan-bahan yang digunakan untuk mengelakkan penghasilan zarah-zarah berbahaya serta memastikan tiada gas berbahaya keluar dari sistem tersebut. Yang penting ialah kebolehpengulangan proses tersebut—setiap kali proses pembakaran dilakukan, hasilnya harus konsisten.
Mengapa ia sesuai untuk proses MEMS
Dalam teknologi MEMS, proses pembakaran dilakukan dengan margin yang sangat ketat. Pemanas ini memberikan profil suhu yang sama setiap kali digunakan, sehingga ciri-ciri pada cakera dapat dibentuk dengan konsisten. Waktu pemanasan yang singkat membolehkan proses berjalan lebih cepat, tanpa mengorbankan keseragaman suhu antara cakera-cakera tersebut.
Penggunaan tenaga juga berkurangan kerana pemanas ini hanya memanaskan kawasan yang diperlukan sahaja, bukan seluruh permukaan cakera. Kebolehpercayaan pemanas ini dapat dilihat daripada masa operasi yang stabil; tiada masa henti yang tidak dirancang, dan penyelenggaraannya juga mudah diramalkan—tanpa sebarang kejutan atau panggilan kecemasan.
Apa yang perlu dirancang
Pemasangan pemanas ini memerlukan persediaan yang tepat, termasuk penyediaan antaramuka yang sesuai serta voltan dan sistem penyejukan yang mencukupi—biasanya 240V, beserta sistem penyejukan udara atau air yang khusus. Pemanas ini boleh digabungkan dengan peralatan litografi biasa, tetapi pastikan laluan optik tetap bebas daripada halangan; sebarang halangan akan mengubah pola suhu.
Rancang ruang bilik bersih terlebih dahulu. Ruang yang sempit memerlukan reka bentuk yang sesuai agar mudah untuk diservis. Dengan persiapan yang betul, proses pengeluaran akan berjalan lancar. Dokumen spesifikasi produk sudah cukup untuk membantu anda membuat keputusan.