Di bilik pengeluaran, perubahan suhu semasa proses pemanasan bahan fotoresist merupakan faktor yang boleh merosakkan kualiti produk. Jika proses pemanasan tidak konsisten, lebar garisan pada permukaan wafer akan berubah. Jika proses pemanasan yang ketat juga tidak konsisten, ia akan menyebabkan terbentuknya kotoran dan sisa-sisa pada permukaan wafer. Kami telah mencipta panel pemanas inframerah jenis seramik untuk mengurangkan variasi suhu tersebut, sekaligus memastikan suhu yang stabil dan tepat, tanpa berlaku lebihan atau kelewatan dalam proses pemanasan.
Apa yang penting dalam panel ini
Panel ini memanaskan objek melalui radiasi, bukan konveksi, menggunakan elemen inframerah berbentuk gelombang pendek yang dilindungi oleh lapisan seramik. Masa yang diperlukan untuk mencapai suhu yang diinginkan adalah kurang dari 2 saat, dan kelancaran suhu di seluruh permukaan wafer adalah sekitar ±0.1°C. Ketepatan pengulangan proses pemanasan pula adalah sekitar ±0.5°C antara setiap kali proses dilakukan. Permukaan panel ini direka agar tidak menghasilkan sebarang zarah, sehingga sesuai digunakan dalam bilik bersih kelas 1–100. Bahan yang digunakan juga tahan terhadap bahan kimia pembersih yang agresif, tanpa menghasilkan gas berbahaya. Dari segi elektrikal, panel ini memenuhi standard peralatan semikonduktor – dengan kadar EMI yang rendah dan isolasi yang baik.
Mengapa ini penting dalam proses litografi
Dalam proses litografi dan pemprosesan bahan fotoresist, ketepatan suhu sangat penting untuk mengawal dimensi permukaan wafer dengan lebih baik, serta mengurangkan keperluan untuk memproses semula wafer tersebut. Proses pemanasan yang konsisten membantu mengelakkan masalah seperti pembentukan kotoran pada permukaan wafer. Respons cepat dari panel ini juga membantu mengurangkan masa yang dibazirkan antara setiap proses pemanasan, sehingga meningkatkan kelajuan pengeluaran tanpa peningkatan penggunaan tenaga. Panel ini boleh beroperasi 24/7 dengan penyelenggaraan yang minimum – tiada risiko kerosakan filamen atau titik panas, jadi masa henti yang tidak dirancang dapat dielakkan. Sebagai alternatif kepada pemanas import, panel ini boleh digunakan bersama peralatan sedia ada, sambil mengekalkan kualiti proses pengeluaran dan mengurangkan kos alat ganti.
Nota lapangan
Pemasangan panel ini memerlukan penyesuaian dengan spesifikasi mekanikal dan jenis sambungan peralatan tersebut. Pastikan toleransi penyesuaian tersebut tepat, agar suhu dapat dikawal dengan baik. Panel ini berfungsi dengan lebih baik apabila voltan yang digunakan stabil. Perubahan voltan yang drastik boleh menjejaskan ketepatan suhu yang diinginkan, jadi penggunaan kondisioner voltan adalah langkah yang bijak. Lakukan ujian pendek untuk mengetahui suhu di seluruh permukaan wafer, agar proses pemanasan dapat dikawal dengan lebih baik.