इन्फ्रारेड हीटिंग बनाम हॉट एयर: आपके वेफरों के लिए कौन-सा विकल्प बेहतर है?
यदि आप अभी भी सेमीकंडक्टर प्रसंस्करण हेतु हॉट एयर तकनीक का उपयोग कर रहे हैं, तो वास्तव में आप समय बर्बाद कर रहे हैं।
इसकी कार्यप्रणाली के बारे में सोचिए – पहले हवा को गर्म किया जाता है, फिर वह हवा चेंबर को गर्म करती है, और धीरे-धीरे ही वेफर गर्म हो जाता है। यह एक धीमी प्रक्रिया है। जबकि इन्फ्रारेड हीटिंग में ऐसी मध्यवर्ती प्रक्रियाओं की कोई आवश्यकता ही नहीं है। इसमें विद्युतचुम्बकीय विकिरण का उपयोग करके ऊर्जा सीधे वेफर की सतह तक पहुँचाई जाती है… इसमें कोई इंतज़ार ही नहीं पड़ता।
समय हमेशा महत्वपूर्ण है
उच्च मात्रा में उत्पादन हेतु, हर सेकंड कीमती है। हॉट एयर तकनीक में, सामग्री को नुकसान न पहुँचे, इसके लिए लंबे समय तक प्रक्रिया चलानी पड़ती है… यह बहुत ही निराशाजनक है। लेकिन इन्फ्रारेड लैंपों के साथ तो लक्षित तापमान तक पहुँचने में कुछ ही सेकंड लगते हैं।
पंखे के जरिए गर्म हवा भेजने के बजाय, फोटॉनों को सीधे सब्सट्रेट तक पहुँचाया जाता है… यह बहुत ही तेज़ प्रक्रिया है। इससे आप अपनी प्रक्रिया को और तेज़ बना सकते हैं, एवं अधिक वेफरों को एक ही बार में प्रसंस्कृत कर सकते हैं।
“आदर्श दूरी” ढूँढना
आप इन्फ्रारेड लैंप को सीधे वेफर के ऊपर रख नहीं सकते… ऐसा करने से समस्याएँ हो सकती हैं। यदि लैंप बहुत नजदीक हो, तो सामग्री खराब हो सकती है… लेकिन यदि लैंप बहुत दूर हो, तो इन्फ्रारेड हीटिंग का लाभ नहीं मिलेगा। इसलिए, प्रति वर्ग सेंटीमीटर कितनी ऊर्जा आवश्यक है, इसके आधार पर ही उचित दूरी निर्धारित करनी होगी।
जिन बातों का ध्यान रखना आवश्यक है
इन्फ्रारेड हीटिंग तो बहुत ही तेज़ है, लेकिन इसकी एक कमी है – यह केवल एक निश्चित दिशा में ही ऊर्जा भेज सकता है। हॉट एयर तो सामग्री के चारों ओर घूमकर ऊर्जा देता है… लेकिन इन्फ्रारेड हीटिंग में ऐसा नहीं होता। इसलिए, यदि वेफर का आकार जटिल है, या आप चाहते हैं कि वेफर हर दिशा से समान रूप से गर्म हो, तो एक ही लैंप पर्याप्त नहीं होगा… आपको एक से अधिक लैंपों की आवश्यकता होगी… या फिर परावर्तक चेंबरों का उपयोग करना होगा। ध्यान रखें कि ऐसी व्यवस्थाओं के लिए जगह भी आवश्यक है।
एक और सावधानी…
आपको एक सटीक PID कंट्रोलर जरूर लेना चाहिए… क्योंकि ऊर्जा बहुत ही तेज़ी से स्थानांतरित होती है… इसलिए, यदि सेंसर समय पर प्रतिक्रिया न दें, तो तापमान नियंत्रण से बाहर हो सकता है… और पूरी प्रक्रिया बर्बाद हो सकती है।