अपने हीटरों को अपने वैक्यूम सिस्टम को नष्ट करने से रोकें।
यदि आप क्लास 100 कम स्टेज का क्लीनरूम चला रहे हैं, तो आपको पहले से ही इसके नियमों के बारे में पता होगा। आपके पास फिल्टर एवं अन्य आवश्यक उपकरण भी हैं… लेकिन एक समस्या ऐसी है जो अभी भी लोगों को परेशान कर रही है – वह है हीटिंग तत्व।
ज्यादातर आईआर लैंप, सामान्य कार्यों हेतु ठीक ही हैं… लेकिन जब उनका तापमान बढ़ जाता है, तो वे सूक्ष्म कणों या गैसों को छोड़ने लगते हैं। वैक्यूम में ऐसी स्थिति बहुत ही खतरनाक होती है… क्योंकि वहाँ हवा ही नहीं होती, जिससे वे कण दूर जा सकें। हीटर से निकलने वाले कण सीधे ही आपके सब्सट्रेट पर जम जाते हैं।
इसीलिए हम उच्च शुद्धता वाले कृत्रिम क्वार्ट्ज का उपयोग करते हैं।
रहस्य तो सिलिका में ही है… हम ऐसे क्वार्ट्ज का उपयोग करते हैं, जिसमें हाइड्रॉक्सिल (OH) की मात्रा बहुत कम होती है। क्यों? क्योंकि ऐसा करने से गर्मी के कारण ट्यूब नरम नहीं होती, एवं अशुद्धियाँ भी वैक्यूम में नहीं घुस पातीं। बिना किसी अवशेष के, वेफरों पर कोई दाग भी नहीं बनता… वे हमेशा ही साफ रहते हैं।
लेकिन वैक्यूम में काम करते समय एक समस्या यह है कि वहाँ कोई वायु-चलन नहीं होता… इसलिए गर्मी को दूर भेजने हेतु हम विकिरण का उपयोग करते हैं। हमने इलेक्ट्रोडों के जोड़ों पर भी विशेष ध्यान दिया है, ताकि कुछ भी बाहर न निकल सके।
एक छोटी सी सलाह: अपने वॉटेज पर ध्यान दें… यदि आप बहुत ज्यादा वॉटेज का उपयोग करेंगे, तो आपके वैक्यूम सिस्टम को नुकसान पहुँच सकता है… और ऐसी स्थिति में आपको बहुत परेशानी होगी।
इन लैंपों को अपने सिस्टम में लगाने हेतु हमने सरल व्यवस्था की है… हम कई तरह के कनेक्टर उपलब्ध कराते हैं, ताकि लैंप आसानी से लग सकें।
चाहे आप कोई कस्टम उपकरण बना रहे हों, या फिर किसी पुराने लैंप को बदल रहे हों… लैंप ठीक से फिट हो जाता है। बस अपने वोल्टेज की स्थिरता पर ध्यान दें… वोल्टेज में अचानक होने वाले बदलाव लैंप को नष्ट कर सकते हैं… इसलिए निर्धारित वोल्टेज ही उपयोग में लाएं… तभी ही लैंप लंबे समय तक काम करेगा।