Arrêtez de gaspiller de l’énergie dans vos systèmes de séchage des wafers
soyons honnêtes : gaspiller de l’énergie, c’est simplement jeter de l’argent par la fenêtre.
La plupart des usines utilisent des réflecteurs en aluminium standard. Mais voici le problème : ces réflecteurs dispersent l’énergie infrarouge. Au lieu d’atteindre le wafer, cette chaleur s’écoule dans le châssis de la machine. C’est inefficace. C’est pourquoi nous avons opté pour des réflecteurs revêtus d’or.
Pourquoi l’or ?
Ce n’est pas à cause de son aspect brillant. C’est plutôt parce que l’or permet de diriger efficacement les photons dans le spectre infrarouge. Alors que l’aluminium laisse passer une partie de l’énergie, l’or renvoie les photons vers leur cible. Ainsi, on évite cette dispersion inutile de chaleur et on obtient un faisceau concentré. On peut ainsi chauffer plus efficacement la surface du wafer, sans avoir à augmenter la puissance fournie.
Diriger la chaleur là où elle est vraiment nécessaire
Lorsque nous concevons ces systèmes, notre objectif est d’augmenter la densité de chaleur. En réduisant l’angle du faisceau, on peut faire monter la température du wafer beaucoup plus rapidement. C’est comme essayer de chauffer une pièce avec un radiateur, ou utiliser une loupe pour allumer un feu. On ne se contente pas d’ajouter de la chaleur ; on la dirige plutôt vers sa cible.
L’inconvénient (car il y en a toujours un)
Ce n’est pas une solution miracle pour tout. L’or est souple, bien plus que l’aluminium anodisé. Si vos techniciens utilisent des produits abrasifs pendant le nettoyage, ils abimeront la surface des réflecteurs, ce qui entraînera une perte immédiate de leur capacité de réflexion. Il faut donc être prudent et utiliser des méthodes de nettoyage sans contact, ou des chiffons très doux, afin de préserver cet aspect miroir.
Quelles en sont les conséquences pour vous ?
Au final, cela vous donne deux options : soit vous réduisez la puissance des éléments chauffants, soit vous raccourcissez le temps de traitement. Dans tous les cas, le coût par wafer diminue.
Si vous regardez vos factures d’électricité et que vous vous demandez d’où proviennent ces pertes d’énergie, vérifiez vos réflecteurs. S’ils sont ternis, vos lampes travaillent plus dur pour compenser. Cela peut entraîner un épuisement prématuré des filaments.