Sécher correctement vos waffers MEMS à l’aide de la technologie infrarouge
Si vous construisez une usine intelligente, vous savez bien que tout doit être géré par des données. Mais lors du séchage des waffers de capteurs MEMS, le matériel physique est tout aussi important que le logiciel. C’est pourquoi nous avons abandonné les anciens fours par convection au profit de systèmes à infrarouges à ondes courtes.
Cela permet une séchage plus rapide. De plus, cela empêche les produits chimiques de pénétrer dans les waffers et de les endommager.
Gérer la chaleur
Le défi avec les MEMS est de retirer rapidement l’humidité sans endommager les waffers. On ne peut pas simplement chauffer les waffers sans réfléchir aux conséquences.
Nous utilisons des lampes en quartz haute puissance pour concentrer la chaleur là où c’est nécessaire. En ajustant la tension et le cycle de fonctionnement, on peut modifier le flux de chaleur en temps réel. Que ce soit avec des waffers plus fins ou des capteurs aux géométries complexes, le système s’adapte automatiquement.
Comme le temps de réponse est presque instantané, votre PLC peut ajuster la température en fonction des informations en temps réel. C’est exactement comme ça qu’une usine moderne et numérisée devrait fonctionner.
Les détails techniques du matériel
Nous utilisons des enveloppes en quartz de haute pureté pour les chauffeurs. Pourquoi ? Parce que ce dont on a besoin, c’est d’éviter toute dégazation juste à côté des waffers.
Nous disposons ces lampes en grilles afin que la chaleur atteigne uniformément chaque partie du wafer. Nous utilisons également des connecteurs spécialisés. Faites-moi confiance : vous ne voulez certainement pas que les composants se détachent lorsque les machines commencent à vibrer.
Mais il y a un problème : les infrarouges à haute intensité provoquent beaucoup de chaleur locale. Les waffers sèchent rapidement, mais le châssis qui les entoure subit de fortes contraintes thermiques. Il faudra donc être prudent avec les systèmes de refroidissement et les ventilateurs, sinon vos équipements électroniques seront endommagés.
Rendre le processus “intelligent”
Dans une usine numérique, chaque composant doit pouvoir indiquer son état. Nos systèmes à infrarouges s’intègrent directement dans votre système SCADA. Vous pouvez ainsi savoir quand une lampe commence à se détériorer ou quel est la consommation d’énergie de chaque wafer. Ainsi, vous n’avez plus besoin de suivre un calendrier de maintenance rigide ; vous pouvez réparer les problèmes dès qu’ils surviennent.
Lorsqu’une lampe commence à défaillir, le système le détecte. Vous pouvez alors remplacer la lampe avant même que la qualité des produits ne diminue. C’est là le véritable avantage d’une usine pilotée par des données.