Secado adecuado de las obleas MEMS mediante infrarrojos
Si está construyendo una fábrica inteligente, sabe que todo debe estar controlado por datos. Pero cuando se trata del secado de las obleas de sensores MEMS, el hardware es tan importante como el software. Por eso hemos dejado atrás los viejos hornos de convección y hemos optado por sistemas de infrarrojos de onda corta.
Es más rápido. Además, evita que los químicos afecten negativamente las obleas.
Control del calor
Lo difícil en el caso de los MEMS es eliminar la humedad rápidamente sin dañar las obleas. No se puede simplemente aplicar calor intensivo y esperar lo mejor.
Utilizamos lámparas de cuarzo de alta potencia para lograr una densidad de calor precisa donde sea necesario. Al ajustar la tensión y el ciclo de trabajo, se puede modificar el flujo de calor en tiempo real. Ya sea que se trate de obleas más delgadas o de geometrías complejas de los sensores, el sistema se adapta automáticamente.
Dado que el tiempo de respuesta es casi instantáneo, su PLC puede ajustar la temperatura según la información en tiempo real. Así es como debería funcionar una fábrica moderna y digitalizada.
Detalles del hardware
Utilizamos envolturas de cuarzo de alta pureza para los calentadores. ¿Por qué? Porque lo último que se quiere es que ocurra “desgasificación” cerca de las obleas.
Colocamos estas lámparas en matrices para que el calor llegue uniformemente a cada parte de la oblea. También utilizamos conectores especializados. Créame, no quiere que las piezas se muevan cuando las máquinas comienzan a vibrar.
Pero hay un problema: los infrarrojos de alta intensidad generan mucho calor. Las obleas se secan rápidamente, pero el chasis circundante sufre bastante. Necesitará usar sistemas de enfriamiento eficaces, de lo contrario, sus componentes electrónicos se dañarán.
Hacerlo “inteligente”
En una fábrica digital, cada componente debe indicar cómo funciona. Nuestros sistemas de infrarrojos se conectan directamente a su sistema SCADA.
Puede ver cuándo una lámpara comienza a desgastarse o cuánta energía consume cada oblea. Esto significa que puede dejar de seguir un calendario rígido de mantenimiento y reparar las cosas cuando realmente sean necesarias.
Cuando una lámpara comienza a fallar, el sistema lo indica. Puede reemplazarla antes de que disminuya la calidad de los productos. Esa es la ventaja real de tener una línea de producción basada en datos.