Warum wir goldbeschichtete Infrarotlampen für die Aushärtung von Halbleitern verwenden
Wer schon einmal in einer Halbleiterfabrik gearbeitet hat, kennt die Herausforderungen bei der Erreichung genau definer Temperaturprofile. Angesichts der Anforderungen an bleifreie Materialien sowie des Wunsches nach umweltfreundlicherer Herstellungsmethoden ist der Spielraum für Fehler praktisch null.
Daher kommen unsere goldbeschichteten Infrarotlampen ins Spiel. Anstelle eines großen Konvektionsofens – der im Grunde nur ein riesiger, energieverbrauchender Behälter mit heißer Luft ist – nutzen wir Kurzwellenstrahlung, um die gewünschte Wirkung zu erzielen.
Das Geheimnis liegt im Gold.
Stellen Sie sich eine herkömmliche Quarzlampe vor: Sie gibt Wärme in alle Richtungen ab – das bedeutet viel verschwendete Energie. Durch das Aufbringen einer dünnen Goldschicht auf die Rückseite des Glases wird die Lampe zu einem Spiegel. Dadurch wird die gesamte Infrarotenergie direkt auf die Wafer geleitet. So entsteht dort ein viel intensivererer Wärmefluss – und die Gehäuse der Maschinen werden nicht zum Ofen. Es ist einfach intelligenter.
Umgang mit bleifreien Standards
Bleifreie Lötstoffe und Klebstoffe sind anspruchsvoll: Sie müssen eine bestimmte Temperatur erreichen – und das schnell. Andernfalls besteht die Gefahr, dass das Silizium beschädigt wird.
Infrarotheizung ist hier ideal: Die gewünschte Temperatur wird in Sekunden erreicht. Da die Energie direkt auf das Substrat trifft, wird keine Zeit damit verschwendet, die Luft im Raum zu erwärmen. Deshalb wandelt sich jeder mehr und mehr auf Infrarotheizung um. Es ist sauberer, spart Energie und man muss nicht mehr auf diese schädlichen chemischen Lösungsmittel angewiesen sein.
Ein Hinweis zur Technik
Es gibt allerdings einen Haken: Bei solcher Wärmestärke wird es sehr heiß. Wenn Sie ein System mit hochleistungsfähigen Goldlampen einsetzen, dürfen Sie bei der Kühlung nicht sparen. Sie benötigen geeignete Lüfter sowie Kühlelemente. Wenn die Luftzufuhr um die Lampe nicht richtig gesteuert wird, brennen die Elektroden aus – und Sie müssen die Lampen viel früher austauschen, als eigentlich nötig wäre.
Wir entwickeln diese Geräte so, dass sie den Anforderungen in einer Halbleiterfabrik standhalten können. Sie passen problemlos in Ihre bestehende Anlage und ersetzen die alten, unzuverlässigen Heizelemente. So können Ihre Bauteile schneller durch die Produktion geschickt werden – und Ihre Ausrüstung nimmt nicht die Hälfte des Raums ein.