Hören Sie auf, die Luft zu erhitzen – heizen Sie lieber direkt den zu behandelnden Gegenstand. Wenn Sie in Ihrer Halbleiterfertigung immer noch auf geheizte Luft zur Trocknung und Behandlung der Bauteile setzen, dann kennen Sie sicherlich dieses lästige Problem. Luft ist einfach nicht geeignet, um Wärme effektiv weiterzuleiten.
Man muss also warten, bis die Luft tatsächlich den Untergrund erhitzt hat. In der Zwischenzeit wird jede Menge Energie verschwendet, nur um das gesamte Volumen des Ofens zu erwärmen. Das ist eine Verschwendung.
Es gibt eine bessere Lösung: Ozonfreies Infrarotlicht. Anstelle von Luft nutzen Infrarotlampen elektromagnetische Strahlung. Diese trifft direkt auf den Werkstoff. Es muss nicht gewartet werden, bis ein Konvektionsprozess stattfindet – es entsteht keine Verschwendung von Energie. Dadurch kann die Erwärmung viel schneller erfolgen. Es handelt sich dabei um einen einfachen Wechsel von Konduktion zu Strahlung – dadurch wird viel Zeit gespart.
Aber bei herkömmlichem Infrarotlicht gibt es ein Problem: Kurzwelliges Infrarotlicht kann Ozon erzeugen, da die Wellenlängen mit Sauerstoffmolekülen interagieren. In einer Reinraumumgebung ist Ozon ein Albtraum – es zerstört die Werkzeuge und beschädigt empfindliche Komponenten.
Um das zu vermeiden, verwenden wir gefilterte Emittoren sowie spezielle Quarzmischungen, um das VUV-Spektrum abzublocken. So erhalten Sie die benötigte Wärme – und der Prozess bleibt sauber. Zudem müssen Sie keine riesigen, Lärm erzeugenden Abluftsysteme installieren, um die Luft zu reinigen.
Aber seien wir ehrlich: Das ist kein „Plug-and-Play“-Lösung. Man muss die Reflektoren richtig einstellen. Wenn sie etwas falsch eingestellt sind, entstehen Hotspots. Und in dieser Branche bedeutet das einen beschädigten Wafer oder eine kaputte Charge.
Außerdem erzeugt Infrarotlicht viel intensive, lokalisierte Wärme. Bevor Sie zum Infrarotlicht wechseln, prüfen Sie unbedingt Ihr Chassis. Vielleicht müssen Sie zusätzliche Kühlventilatoren in die Lampenhülle einbauen, damit die Kabel nicht beschädigt werden.
Letztendlich ist das die beste Lösung, wenn man mehr Durchsatz in der Fertigung erreichen möchte. Hören Sie auf, mit der Luft zu kämpfen – heizen Sie einfach direkt den zu behandelnden Gegenstand.