Hören Sie auf, Energie in der Trocknungsanlage zu verschwenden!
Seien wir ehrlich: Energieverschwendung bedeutet im Grunde genommen Geldverschwendung.
Die meisten Anlagen verwenden Standard-Aluminiumreflektoren – doch das Problem ist, dass diese Infrarotenergie streuen. Anstatt auf die Waferfläche zu treffen, gelangt die Wärme direkt ins Gehäuse der Maschine. Das ist ineffizient. Deshalb haben wir auf reflektierende Oberflächen aus Gold umgestellt.
Warum Gold?
Es geht nicht um den Glanz – sondern darum, wie Gold mit dem nahe- bis mittleren Infrarotspektrum umgeht. Während Aluminium einen Teil der Energie durchlässt, reflektiert Gold die Photonen direkt zurück zum Ziel. So wird die „breite Streuung“ der Wärme verhindert und die Wärme in einen fokussierten Strahl umgewandelt. Dadurch erreicht die Waferfläche eine höhere Temperatur – ohne dass man die Leistung der Heizelemente erhöhen muss.
Die Wärme genau dorthin bringen, wo sie hingehört
Bei der Konstruktion dieser Systeme konzentrieren wir uns auf die Wärmedichte. Durch die Verengung des Strahlwinkels kann die Waferfläche viel schneller auf die Verdampfungstemperatur gebracht werden. Das ist wie beim Erwärmen eines Raumes: Entweder nutzt man einen Heizlüfter oder eine Lupe, um ein Feuer zu entzünden. Man fügt also keine zusätzliche Wärme hinzu – sondern lenkt die vorhandene Wärme gezielt aus.
Der Haken (denn es gibt immer einen)
Das ist keine magische Lösung für alle Probleme. Gold ist weich – viel weicher als anodisiertes Aluminium. Wenn die Techniker während des Reinigungsprozesses abriebfähige Materialien verwenden, werden die Oberflächen beschädigt und die Reflektionsfähigkeit geht sofort verloren. Man muss vorsichtig sein – nur kontaktlose Reinigungsmethoden oder sehr weiche Tücher sollten verwendet werden, um die glänzende Oberfläche zu erhalten.
Was das für Ihre Kosten bedeutet
Letztendlich haben Sie zwei Möglichkeiten: Entweder senken Sie die Leistung der Heizelemente oder verkürzen Sie die Zeit des Trocknungsprozesses. In jedem Fall sinken die Kosten pro Wafer.
Wenn Sie sich Ihre Energierechnungen ansehen und wissen möchten, wo der Energieverlust stattfindet, prüfen Sie Ihre Reflektoren. Wenn diese trüb aussehen, arbeiten die Lampen überlastet, um die gewünschte Temperatur zu erreichen. Das führt schnell zum Verschleiß der Lampen.